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龍圖騰網獲悉南方科技大學申請的專利一種連續相位超構表面結構、空間光調制器以及制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115793326B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211339304.1，技術領域涉及：G02F1/1337；該發明授權一種連續相位超構表面結構、空間光調制器以及制備方法是由劉言軍;王家偉設計研發完成，并于2022-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種連續相位超構表面結構、空間光調制器以及制備方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種連續相位超構表面結構、空間光調制器以及制備方法，其連續相位超構表面結構包括：襯底與若干楔形超表面單元；當連續相位超構表面結構被配置為空間光調制器的基板時，通過楔形超表面單元產生連續的相位梯度，以實現反射透射的光束轉向調整、近亞微米級別的高分辨率取向液晶以及近亞微米級別的高分辨圖形化配向液晶之中的一種或多種操作。本發明通過產生連續的相位梯度且液晶控制偏振方向來滿足激光雷達、光通信等實際應用中對光束轉向的要求，尤其是不再受偏轉角和旁瓣噪聲的約束；且可以對液晶取向并使其產生預傾角，這讓液晶在外場驅動時更加有序且光電性能增強；同時，還通過高分辨圖形化配向液晶來實現矢量光束的產生和調控。

本發明授權一種連續相位超構表面結構、空間光調制器以及制備方法在權利要求書中公布了：1.一種連續相位超構表面結構，其特征在于，包括： 襯底； 若干可調諧連續相位的楔形超表面單元，被設置在所述襯底上； 其中，當所述連續相位超構表面結構被配置為空間光調制器的基板時，通過所述楔形超表面單元產生連續的相位梯度，以實現反射透射的光束轉向調整、近亞微米級別的高分辨率取向液晶并使液晶產生預傾角以及近亞微米級別的高分辨圖形化配向液晶之中的一種或多種操作； 其中，連續相位超構表面結構的制備方法包括： 通過電子束曝光將涂設在襯底上的光刻膠層圖案化，并基于預先設置的電子束蒸鍍系統與蒸鍍材料對圖案化的光刻膠層進行沉積，包括：在襯底上鍍設的鋁薄膜表面上旋涂正性電子束光刻膠，制備出厚度為440～460nm的光刻膠層；在對帶有光刻膠層的襯底進行145～155℃預焙1.5～2.5min之后，在1.5～2.5nA電流、75～85kV電壓的條件下，以350μCcm2的劑量進行電子束光刻曝光；將曝光的襯底置于顯影液中顯影58～62s，在襯底上得到呈底面為梯形的四棱柱形狀的光刻膠圖案；在顯影之后，基于預先設置的電子束蒸鍍系統與蒸鍍材料在真空度為5×10E-6Torr與蒸發速率控制在的條件下，對所述呈底面為梯形的四棱柱形狀的光刻膠圖案實施鍍膜沉積操作；隨著鍍膜沉積厚度的增加至70nm時，將所述呈底面為梯形的四棱柱形狀的光刻膠圖案的短邊口處封上，繼而對長邊口處繼續進行鍍膜沉積操作，直至得到175～185nm的楔形超表面單元； 采用預設的去膠液將經沉積后的圖案之外的光刻膠層剝離，使得沉積后的圖案保留到襯底上以形成楔形超表面單元。

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