北方工業(yè)大學(xué)陳強(qiáng)華獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北方工業(yè)大學(xué)申請的專利一種楔形雙折射器件相位延遲量測量光路及測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115541203B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211322616.1,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01M11/02;該發(fā)明授權(quán)一種楔形雙折射器件相位延遲量測量光路及測量方法是由陳強(qiáng)華;關(guān)裕;邵多;劉福銘;呂洪波;孫啟國;司麗娜;何廣平設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-10-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種楔形雙折射器件相位延遲量測量光路及測量方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種楔形雙折射器件相位延遲量測量光路及測量方法,其光路結(jié)構(gòu)包括分光鏡、半波片、第一聚焦透鏡、反射鏡,還包括縮束單元、四分之一波片及第二聚焦透鏡;入射光經(jīng)所述分光鏡后被分為透射光和反射光,沿此反射光前進(jìn)方向依次設(shè)有第一偏振片、第一光電探測器,沿此反射光前進(jìn)方向的反向依次設(shè)有第二偏振片、第二光電探測器;沿透射光前進(jìn)方向依次設(shè)有所述縮束單元、半波片、待測雙折射器件、第一聚焦透鏡、四分之一波片、第二聚焦透鏡、反射鏡。本發(fā)明可以測量楔形結(jié)構(gòu)以及具有變化楔角斜面、曲面或其他出射表面不平行于入射表面結(jié)構(gòu)的雙折射器件的相位延遲量,且光路結(jié)構(gòu)簡單,測量方法簡單方便。
本發(fā)明授權(quán)一種楔形雙折射器件相位延遲量測量光路及測量方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種楔形雙折射器件相位延遲量的測量方法,利用楔形雙折射器件相位延遲量測量光路進(jìn)行測量,所述楔形雙折射器件相位延遲量測量光路包括分光鏡、半波片、第一聚焦透鏡、反射鏡,還包括縮束單元、四分之一波片及第二聚焦透鏡;入射光經(jīng)所述分光鏡后被分為透射光和反射光,沿此反射光前進(jìn)方向依次設(shè)有第一偏振片、第一光電探測器,沿此反射光前進(jìn)方向的反向依次設(shè)有第二偏振片、第二光電探測器;沿透射光前進(jìn)方向依次設(shè)有所述縮束單元、半波片、待測雙折射器件、第一聚焦透鏡、四分之一波片、第二聚焦透鏡、反射鏡;其特征在于,所述測量方法包括如下步驟: S1.將待測雙折射器件放置在所述半波片與第一聚焦透鏡之間; S2.將一束包含了兩個(gè)具有一定頻率差且偏振方向互相垂直的P、S雙頻線偏振分量的光束作為入射光,經(jīng)過分光鏡后被分為透射和反射的兩部分; 反射光經(jīng)過第一偏振片后被第一光電探測器接收形成參考信號; 透射光依次經(jīng)過所述縮束單元、半波片、待測雙折射器件、第一聚焦透鏡、四分之一波片、第二聚焦透鏡及反射鏡后原路折返,后被第二光電探測器接收形成測量信號; 旋轉(zhuǎn)所述半波片,獲取測量信號與參考信號間的相位差變化的最大值及最小值,并由此計(jì)算得到待測雙折射器件在光束經(jīng)過位置的相位延遲量; 所述參考信號的表達(dá)式為: 表達(dá)式一I1=I01cos[2πΔft+Φp01-Φs01] 其中,I1、I01分別為參考信號的光強(qiáng)與光強(qiáng)最大值,Φp01、Φs01分別為參考信號光路中P、S分量的初始相位,t為時(shí)間,Δf為P偏振光與S偏振光間的頻率差; 所述測量信號的表達(dá)式為: 表達(dá)式二I2=I02cos[2πΔft+Φp02-Φs02+ΔΦ] 其中,I2、I02分別為測量信號的光強(qiáng)與光強(qiáng)最大值,Φp02、Φs02分別為測量光路中P、S分量的初始相位,ΔΦ為半波片旋轉(zhuǎn)時(shí)測量信號相對于參考信號的相位差變化; 設(shè)入射P偏振光分量的瓊斯向量為所述透射光返回至第二偏振片后P偏振光分量的瓊斯向量變?yōu)椋?表達(dá)式三 設(shè)入射S偏振分量的瓊斯向量為所述透射光返回至第二偏振片后S偏振光分量的瓊斯向量變?yōu)椋?表達(dá)式四 其中: P1=|sinτsin22ψ-θ|; δ=atantanτcos2θ-2ψ; ψ為半波片快軸與平行紙面方向的夾角,τ和θ分別為待測雙折射器件的相位延遲量和快軸方位角; 根據(jù)表達(dá)式三和表達(dá)式四,獲得測量信號中P、S分量的相位差為: 表達(dá)式五Φ=2atan{tanτcos[2θ-2ψ]} 該相位差Φ的變化ΔΦ即為表達(dá)式二中的相位差變化,旋轉(zhuǎn)半波片獲取該相位差變化ΔΦ的最大最小值,根據(jù)表達(dá)式五計(jì)算得到待測雙折射器件的相位延遲量和快軸方位角。
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