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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114757483B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202210257745.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06Q10/0631；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備是由史思雪設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-16向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括多個(gè)模塊，其中包括真空大氣轉(zhuǎn)換模塊、工藝模塊，該方法包括：根據(jù)物料的加工路徑、各模塊執(zhí)行的任務(wù)、執(zhí)行任務(wù)產(chǎn)生的動(dòng)作順序，生成當(dāng)前物料對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表；設(shè)置求解模型的約束條件和求解目標(biāo)；將任務(wù)列表輸入求解模型，以使求解模型根據(jù)任務(wù)列表、約束條件和求解目標(biāo)，計(jì)算并輸出各個(gè)任務(wù)的開始執(zhí)行時(shí)間和執(zhí)行結(jié)束時(shí)間。從而實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)布局更為復(fù)雜，工藝精度要求更高的設(shè)備的調(diào)度需求。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的物料調(diào)度方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括多個(gè)模塊，其中包括真空大氣轉(zhuǎn)換模塊、工藝模塊，所述方法包括： 根據(jù)物料的加工路徑、各模塊執(zhí)行的任務(wù)以及執(zhí)行所述任務(wù)產(chǎn)生的動(dòng)作順序，生成針對(duì)當(dāng)前物料對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表； 設(shè)置求解模型的約束條件和求解目標(biāo)；其中，所述約束條件包括物料加工時(shí)間關(guān)系約束、多個(gè)模塊間的任務(wù)間順序關(guān)系約束、同一模塊內(nèi)的任務(wù)間順序關(guān)系約束、同一任務(wù)下并行子任務(wù)間關(guān)系約束、真空大氣轉(zhuǎn)換模塊的真空狀態(tài)與大氣狀態(tài)轉(zhuǎn)換約束；所述同一模塊內(nèi)的任務(wù)間順序關(guān)系約束，用于使同一模塊中的不同任務(wù)依次執(zhí)行；所述求解目標(biāo)為物料執(zhí)行全部工藝模塊任務(wù)的開始時(shí)間與結(jié)束時(shí)間之和最短的時(shí)間； 將所述任務(wù)列表輸入所述求解模型，以使所述求解模型根據(jù)所述任務(wù)列表、所述約束條件和所述求解目標(biāo)，計(jì)算并輸出各個(gè)任務(wù)的開始執(zhí)行時(shí)間和執(zhí)行結(jié)束時(shí)間。

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