無錫華瑛微電子技術有限公司馬杰獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉無錫華瑛微電子技術有限公司申請的專利自動溶液配制裝置及方法和半導體處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116078259B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111314416.7，技術領域涉及：B01F35/71；該發明授權自動溶液配制裝置及方法和半導體處理系統是由馬杰設計研發完成，并于2021-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本自動溶液配制裝置及方法和半導體處理系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種微量低濃度溶液的自動精準配制裝置、方法和半導體處理系統。所述溶液自動配制裝置包括：管線；五個旋轉閥，其中第一旋轉閥的至少一個選用通孔接收至少一種稀釋液，第二旋轉閥的共用通孔通過管線與第一旋轉閥的共用通孔連通，第三旋轉閥的共用通孔與第四旋轉閥的一個選用通孔連通，第四旋轉閥的至少一個選用通孔接收至少一種原液，第五旋轉閥的至少一個選用通孔通過管線與配制液容器連通，第五旋轉閥的一個選用通孔通過管線連通廢液收集容器或廢液排放管道；第一定量環，連通于第二旋轉閥的一個選用通孔和第三旋轉閥的一個選用通孔之間；第二定量環，連通于第四旋轉閥的共用通孔和第五旋轉閥的共用通孔之間。
本發明授權自動溶液配制裝置及方法和半導體處理系統在權利要求書中公布了：1.一種自動溶液配制裝置，其特征在于，其包括： 管線； 第一旋轉閥、第二旋轉閥、第三旋轉閥、第四旋轉閥和第五旋轉閥，其中每個旋轉閥均包括一個共用通孔和多個選用通孔，通過受控的自動旋轉所述旋轉閥能夠將所述共用通孔與多個選用通孔中的一個選用通孔通過內部通路連通，第一旋轉閥的至少一個選用通孔通過所述管線接收至少一種稀釋液，第二旋轉閥的共用通孔通過管線與第一旋轉閥的共用通孔連通，第三旋轉閥的共用通孔與第四旋轉閥的一個選用通孔通過管線連通，第四旋轉閥的至少一個選用通孔接收至少一種原液，第五旋轉閥的至少一個選用通孔通過管線與配制液容器連通，第五旋轉閥的一個選用通孔通過管線排出廢液； 至少一個第一定量環，其中每個第一定量環連通于第二旋轉閥的一個選用通孔和第三旋轉閥的一個選用通孔之間； 第二定量環，連通于第四旋轉閥的共用通孔和第五旋轉閥的共用通孔之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫華瑛微電子技術有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新區震澤路18號國家軟件園3期鯨魚座A棟1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號