蘇州賽爾特新材料有限公司胡光球獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州賽爾特新材料有限公司申請的專利一種快速磨拋金剛石晶圓的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113829133B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111154153.8,技術領域涉及:B24B1/00;該發明授權一種快速磨拋金剛石晶圓的方法是由胡光球;陸靜;王凱平設計研發完成,并于2021-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種快速磨拋金剛石晶圓的方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種快速磨拋金剛石晶圓的方法。具體的,在磨拋機上,利用自修整凍干凝膠砂輪磨拋金剛石晶圓,完成金剛石晶圓的快速磨拋;本發明將凝膠體依次經過真空干燥、冷凍干燥,得到自修整凝膠砂輪用凍干凝膠塊;再與基體結合,得到自修整凍干凝膠砂輪。本發明首次以凍干凝膠塊為磨拋工具,較現有研磨金剛石晶圓的方法,取得粗糙度低、良品率高的優點。
本發明授權一種快速磨拋金剛石晶圓的方法在權利要求書中公布了:1.一種快速磨拋金剛石晶圓的方法,包括以下步驟,在磨拋機上,利用自修整凍干凝膠砂輪磨拋金剛石晶圓,完成金剛石晶圓的快速磨拋,其特征在于,將混合物2加入混合物1中,再加入混合物3,攪拌得到混合液;將混合液倒入模具后浸入鈣鹽溶液中,得到凝膠體;然后將凝膠體依次經過真空干燥、冷凍干燥,得到自修整凝膠砂輪用凍干凝膠塊;將自修整凝膠砂輪用凍干凝膠塊與基體結合,得到自修整凍干凝膠砂輪;將海藻酸鈉、羧甲基殼聚糖、水混合,得到混合物1;將芳綸粉末與水混合,得到混合物2;將玻璃纖維粉末、金剛石磨料與水混合,得到混合物3;真空干燥時,真空度為500~1000Pa,時間為1~2小時,溫度為40~60℃;冷凍干燥時,真空度為1~50Pa,5~7小時降至-80~-60℃,然后保持20~30小時;混合液中,海藻酸鈉、羧甲基殼聚糖、芳綸粉末、玻璃纖維粉末、金剛石磨料、水的質量比為(15~25)∶(3~8)∶(80~110)∶(180~230)∶(50~100)∶1200。
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