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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所申請(qǐng)的專利一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115309000B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110496405.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置及方法是由曹譯莎;唐鋒;王向朝;劉洋;盧云君設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置及方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置及方法。所述多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置包括照明系統(tǒng)、掩模臺(tái)、測(cè)試掩模版、投影物鏡、工件臺(tái)、多通道像面?zhèn)鞲衅鳎嗤ǖ老衩鎮(zhèn)鞲衅魍瑫r(shí)對(duì)多個(gè)物面測(cè)試標(biāo)記經(jīng)過(guò)投影物鏡成像后的實(shí)際像點(diǎn)與名義像點(diǎn)的成像位置偏移量進(jìn)行檢測(cè)，擬合計(jì)算物鏡的畸變與倍率誤差，縮短了檢測(cè)時(shí)間，消除了工件臺(tái)誤差對(duì)檢測(cè)精度的影響，提高了檢測(cè)精度。

本發(fā)明授權(quán)一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種多通道物鏡畸變和倍率的檢測(cè)裝置，包含照明系統(tǒng)100、掩模臺(tái)400、測(cè)試掩模版200、投影物鏡500、工件臺(tái)900和傳感器，所述的照明系統(tǒng)100，用于提供光源；所述的掩模臺(tái)400，用于承載所述測(cè)試掩模版200；其特征在于：所述的測(cè)試掩模版200刻有A組、每組G個(gè)共N個(gè)物面測(cè)試標(biāo)記，A＝1，G＝3，N＝3，每組的G個(gè)物面測(cè)試標(biāo)記的間距p和空間分布都相同，按照間距p沿直線、折線、或者陣列排列，不同組之間的間距＝p，所述物面測(cè)試標(biāo)記300均位于被測(cè)投影物鏡500的物方視場(chǎng)內(nèi)； 所述的投影物鏡500，用于對(duì)物面測(cè)試標(biāo)記300成像；所述的傳感器為多通道像面?zhèn)鞲衅?00，用于同時(shí)對(duì)多個(gè)物面測(cè)試標(biāo)記經(jīng)過(guò)投影物鏡成像后的實(shí)際像點(diǎn)與名義像點(diǎn)的成像位置偏移量進(jìn)行檢測(cè)； 所述的工件臺(tái)900，在檢測(cè)過(guò)程中移動(dòng)使得多通道像面?zhèn)鞲衅?00的像面測(cè)試標(biāo)記與相應(yīng)的物面測(cè)試標(biāo)記的名義成像位置對(duì)齊； 所述的多通道像面?zhèn)鞲衅?00包含與一組G個(gè)物面測(cè)試標(biāo)記成共軛關(guān)系的一組G個(gè)像面測(cè)試標(biāo)記及一個(gè)面陣探測(cè)器800，每個(gè)像面測(cè)試標(biāo)記的間隔距p’＝M×p，其中，M為投影物鏡500的名義微縮倍率；所述的像面測(cè)試標(biāo)記和面陣探測(cè)器沿光傳輸方向依次放置，且該面陣探測(cè)器的光敏面與像面測(cè)試標(biāo)記所在平面之間的發(fā)散光傳輸距離q，使得多通道像面?zhèn)鞲衅鞯拿骊囂綔y(cè)器上不同標(biāo)記的光信號(hào)相互不干擾。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所，其通訊地址為：201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。