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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利溫度控制方法和等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113394070B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110244864.8，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權溫度控制方法和等離子體處理裝置是由箕浦佑也;榎本果穗;坂井隼人設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本溫度控制方法和等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種溫度控制方法和等離子體處理裝置。溫度控制方法包括切換工序、點火工序、計算工序、第一控制工序及第二控制工序。在切換工序中，將向載置臺的內部的流路供給的熱介質從在進行蝕刻處理的情況下由第一溫度控制部供給的第一溫度的熱介質切換為在進行清潔處理的情況下由第二溫度控制部供給的第二溫度的熱介質。在點火工序中，開始供給清潔氣體，并將等離子體點火。在斜率計算工序中，基于流路的出口側的熱介質的溫度來計算熱介質的溫度變化的斜率。在第一控制工序中，控制第二溫度控制部，直至流路的出口側的熱介質的溫度穩定為第三溫度為止。在第二控制工序中，控制第二溫度控制部，以使流路的出口側的熱介質的溫度成為設定值。

本發明授權溫度控制方法和等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種溫度控制方法，包括以下工序： 切換工序，將向設置于載置臺的內部的流路供給的熱介質從第一溫度的所述熱介質切換為第二溫度的所述熱介質，所述載置臺被配置于等離子體處理裝置的處理容器內，用于載置基板，所述第一溫度的所述熱介質是在針對所述基板進行蝕刻處理的情況下由第一溫度控制部供給的熱介質，所述第二溫度的所述熱介質是在從所述處理容器搬出所述基板后進行去除附著在被設置于所述載置臺的上部的靜電吸盤的反應生成物的清潔處理的情況下由第二溫度控制部供給的熱介質； 點火工序，開始向所述處理容器內供給清潔氣體，并將等離子體點火； 斜率計算工序，基于所述流路的出口側的所述熱介質的溫度來計算所述熱介質的溫度變化的斜率； 第一控制工序，控制所述第二溫度控制部，直至所述流路的出口側的所述熱介質的溫度穩定為比預先設定的設定值低的第三溫度為止，其中，所述設定值為低于所述熱介質的氣化溫度的溫度；以及 第二控制工序，控制所述第二溫度控制部，以使所述流路的出口側的所述熱介質的溫度成為所述設定值。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。