東京毅力科創株式會社輿水地鹽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利檢測方法和等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113410116B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110243624.6，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權檢測方法和等離子體處理裝置是由輿水地鹽設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本檢測方法和等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種檢測方法和等離子體處理裝置，能夠提高對等離子體的狀態、處理工藝的狀態、等離子體處理裝置及其零件的狀態的至少任一者的監視精度。檢測方法包括對下部電極供給偏置功率，并對上部電極或者下部電極供給源功率的步驟；和檢測安裝在腔室上的傳感器的輸出值的步驟，檢測傳感器的輸出值的步驟包括a按偏置波形的每個周期確定偏置波形的第一相位的步驟；b確定第二相位的步驟，其中第二相位是從確定了第一相位的時刻起經過預先設定的第一時間后的源波形的第二相位；和c從確定了第二相位的時刻起經過預先設定的第二時間后進行傳感器的輸出值的采樣的步驟，按偏置波形的每個周期反復執行a～c的步驟。
本發明授權檢測方法和等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種檢測方法，其特征在于，包括： 對下部電極供給偏置功率，并對上部電極或者所述下部電極供給源功率的步驟；和 檢測安裝在腔室上的傳感器的輸出值的步驟， 其中，檢測所述傳感器的輸出值的步驟包括： a按偏置波形的每一個周期確定所述偏置波形的第一相位的步驟； b確定第二相位的步驟，其中該第二相位是從確定了所述第一相位的時刻起經過預先設定的第一時間后的源波形的第二相位；和 c從確定了所述第二相位的時刻起經過預先設定的第二時間后進行所述傳感器的輸出值的采樣的步驟， 其中，按偏置波形的每一個周期反復執行a～c的步驟。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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