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龍圖騰網獲悉AMT 株式會社申請的專利具有細小間距的器件測試裝置及其方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114729964B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080083496.7，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權具有細小間距的器件測試裝置及其方法是由金斗喆;李玩求設計研發完成，并于2020-11-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有細小間距的器件測試裝置及其方法在說明書摘要公布了：將器件在具有多個真空孔的基座板上面依次裝載的步驟；在器件裝載到所述基座板上的狀態下，隨著真空壓的施加，將裝載的器件用可微微移動的真空壓吸引的步驟；位于所述基座板上部的對準視覺組件向需對準的器件上部移動以后下降的步驟；所述對準區將器件包住的狀態下，通過通孔和開口部用視覺確認器件的位置后，將坐標值傳輸給控制部的步驟；根據所述器件的坐標值，使基座板向X?Y?θ方向微微移動，將器件引至開口部的二面對準的步驟；在每次器件裝載到基座板上面時，將基座板向X?Y軸方向按每一間距移動同時，對器件實施對準。

本發明授權具有細小間距的器件測試裝置及其方法在權利要求書中公布了：1.一種具有細小間距的器件對準裝置，其特征在于，結構包括：基座（10），其具有垂直柱（11）；Y軸板（20），其在所述基座（10）的上面沿著Y軸方向可以按每一間距移動；基座板（40），其設置在所述Y軸板（20）的上面，器件（30）的安置地點分別形成真空孔，器件（30）被裝載的狀態下，隨著真空壓的施加，將裝載的器件（30）用可微微移動的真空壓吸引；基座板位置調節裝置（50），其設置在所述Y軸板（20）的上面，根據裝載于基座板（40）的器件（30）的位置，使基座板（40）向X-Y-θ方向微微移動；X軸板（60），其設置于所述基座（10）的垂直柱（11），沿著X軸方向按每一間距水平移動；Z軸板（71），其設置于所述X軸板（60），沿著Z軸升、降；視覺區（72），其設置于所述Z軸板（71），并設有通孔（72a）；對準區（73），其設置于所述視覺區（72）的下部，設有開口部（73a），可以包住被吸引至基座板（40）的器件（30）； 視覺（74），其設置于所述Z軸板（71）的上部，通過視覺區（72）的通孔（72a）及開口部（73a）確認被吸引至基座板（40）的器件（30）的位置后，將坐標值傳輸給控制部；對準區（73）根據被吸引至基座板（40）的器件（30）的坐標值下降，將器件（30）包住的狀態下，通過基座板位置調節裝置（50）將基座板（40）向X-Y-θ方向微微移動，進而對準器件（30）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人AMT 株式會社，其通訊地址為：韓國忠清南道牙山市陰峰面山東路246-95,1棟；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。