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龍圖騰網獲悉無錫尚積半導體科技股份有限公司申請的專利PVD磁控器及PVD設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120311155B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510798258.9，技術領域涉及：C23C14/35；該發明授權PVD磁控器及PVD設備是由張超;張陳斌;歐陽軍晨;葛青濤;宋永輝;王世寬設計研發完成，并于2025-06-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本PVD磁控器及PVD設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種PVD磁控器及PVD設備，PVD磁控器包括密封腔室，所述密封腔室具有冷卻液入口和冷卻液出口，所述密封腔室內設置有：轉盤，繞其自身軸線轉動，所述轉盤的底部以其軸線為中心旋轉設置有若干葉片，所述轉盤的底部用于連接磁控組件；其中，所述冷卻液入口能夠與任一個所述葉片的側面相對。采用葉片在冷卻液的沖擊下帶動轉盤轉動，無需額外電能轉化，利用系統原有冷卻液的流動能使設備能耗降低，不僅動力傳遞延遲更小，還沒有電氣故障、機械部件失效引發的設備停機風險，提升系統可靠性與連續運行時長；PVD設備包括上述PVD磁控器。

本發明授權PVD磁控器及PVD設備在權利要求書中公布了：1.一種PVD磁控器，其特征在于，包括密封腔室（10），所述密封腔室（10）具有冷卻液入口（10a）和冷卻液出口（10b），所述密封腔室（10）內設置有： 轉盤（110），繞其自身軸線轉動，所述轉盤（110）的底部以其軸線為中心旋轉設置有若干葉片（111），所述轉盤（110）的底部用于連接磁控組件，所述冷卻液入口（10a）能夠與任一個所述葉片（111）的側面相對； 所述磁控組件包括： 安裝塊（120），沿所述轉盤（110）的軸線固定在所述轉盤（110）的底部； 第一面板（130），固定在所述安裝塊（120）的底部； 轉軸（140），與所述轉盤（110）的軸線平行、轉動連接于所述第一面板（130）的一端； 第二面板（150），平行設置在所述第一面板（130）下方、與所述轉軸（140）轉動連接； 磁體（160）和配重塊（170），分布在所述轉軸（140）的兩側、分別固定在所述第二面板（150）底部，所述磁體（160）對應所述第一面板（130）的另一端； 其中，所述第一面板（130）的兩側分別設置有第一限位（130a）和第二限位（130b），所述第一限位（130a）位于安裝塊（120）遠離轉軸（140）的一側，所述第二限位（130b）位于安裝塊（120）靠近轉軸（140）的一側，所述第二面板（150）能夠在所述第一限位（130a）和所述第二限位（130b）之間擺動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫尚積半導體科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區長江南路35-312號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。