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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇芯夢半導體設(shè)備有限公司申請的專利晶圓涂覆裝置及其控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120286277B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510781595.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B05C3/10；該發(fā)明授權(quán)晶圓涂覆裝置及其控制方法是由請求不公布姓名設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-12向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓涂覆裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種晶圓涂覆裝置及其控制方法。包括：涂覆腔室；夾持組件，夾持晶圓，并帶動晶圓以預設(shè)角度傾斜的方式浸入至涂覆液中，在晶圓浸沒于涂覆液后帶動晶圓進入水平狀態(tài)；供液組件；包括位于夾持組件下方的第一供液件和第二供液件，第一供液件包括沿涂覆腔室的周側(cè)向內(nèi)延伸的第一方向供液的第一供液口；第二供液件包括沿涂覆腔室的底端向上延伸的第二方向供液的第二供液口；控制部件，用于控制夾持組件和供液組件；在晶圓浸入至涂覆液的過程中，控制第一供液口和第二供液口的液體流速分別為第一預設(shè)流速和第二預設(shè)流速；晶圓進入水平狀態(tài)后，控制第一供液口和第二供液口的液體流速均為第一預設(shè)流速。本申請的技術(shù)方案，能提高涂覆質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)晶圓涂覆裝置及其控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓涂覆裝置，其特征在于，包括： 涂覆腔室，用于容納涂覆液； 夾持組件，被配置為夾持晶圓，并帶動所述晶圓以預設(shè)角度傾斜的方式浸入至所述涂覆液中，在所述晶圓浸沒于涂覆液后帶動所述晶圓進入水平狀態(tài)； 供液組件，用于向涂覆腔室內(nèi)增加涂覆液；包括位于所述夾持組件下方的第一供液件和第二供液件，所述第一供液件包括沿所述涂覆腔室的周側(cè)向內(nèi)延伸的第一方向供液的第一供液口；所述第二供液件包括沿所述涂覆腔室的底端向上延伸的第二方向供液的第二供液口； 控制部件，用于控制所述夾持組件和所述供液組件；在所述晶圓浸入至涂覆液的過程中，控制所述第一供液口和所述第二供液口的液體流速分別為第一預設(shè)流速和第二預設(shè)流速；所述晶圓進入水平狀態(tài)后，控制所述第一供液口和所述第二供液口的液體流速均為第一預設(shè)流速；第二預設(shè)流速大于所述第一預設(shè)流速。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人江蘇芯夢半導體設(shè)備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢(2號廠房)1、2層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。