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龍圖騰網(wǎng)獲悉珠海寶豐堂半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)的專利一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120237065B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510724962.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置是由丁雪苗;趙公魄;趙芝強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置，包括底板以及固定安裝在其頂部的裝置本體，裝置本體的側(cè)面固定安裝有密封罩，密封罩的內(nèi)部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端固定安裝有用于承載半導(dǎo)體晶片的放置板，放置板的上方設(shè)置有用于清潔半導(dǎo)體晶片的清理機(jī)構(gòu)；控制氣缸的伸出端收縮至最短，使得活塞上滑至進(jìn)料管輸出端上方，氧氣等離子體從第一噴管和第二噴管的輸出端噴出，再開啟驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，使得半導(dǎo)體晶片發(fā)生旋轉(zhuǎn)，通過第二噴管對(duì)半導(dǎo)體晶片的側(cè)面吹氧氣等離子體，助于改善清潔過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性副產(chǎn)物的排出，防止二次污染，同時(shí)更好地清潔半導(dǎo)體晶片的側(cè)壁，減少側(cè)壁沉積。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體晶片的等離子蝕刻裝置，包括底板（4）以及固定安裝在其頂部的裝置本體（1），所述裝置本體（1）的側(cè)面固定安裝有密封罩（2），其特征在于：所述密封罩（2）的內(nèi)部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)（10），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（10）的輸出端固定安裝有用于承載半導(dǎo)體晶片的放置板（11），所述放置板（11）的上方設(shè)置有用于清潔半導(dǎo)體晶片的清理機(jī)構(gòu)（9）； 所述清理機(jī)構(gòu)（9）包括與密封罩（2）內(nèi)壁固定連接的調(diào)控缸（909），所述調(diào)控缸（909）的內(nèi)壁滑動(dòng)設(shè)置有活塞（902），所述活塞（902）的底部固定安裝有升降桿（910），所述升降桿（910）的底端活動(dòng)貫穿調(diào)控缸（909），所述調(diào)控缸（909）的一側(cè)設(shè)置有用于清潔晶片側(cè)壁的側(cè)吹單元（907）； 所述調(diào)控缸（909）的另一側(cè)設(shè)置有兩個(gè)導(dǎo)向架（905），兩個(gè)所述導(dǎo)向架（905）的中部共同活動(dòng)插設(shè)有第一噴管（906），所述第一噴管（906）的輸出端朝向放置板（11）的中部，且第一噴管（906）的頂部連通有第一軟管（903），所述第一軟管（903）的輸入端與調(diào)控缸（909）的側(cè)面中部連通；所述側(cè)吹單元（907）包括與密封罩（2）內(nèi)側(cè)壁滑動(dòng)連接的升降座（9076），所述升降座（9076）的內(nèi)部固定插設(shè)有第二噴管（9073），所述第二噴管（9073）的輸出端傾斜設(shè)置且朝向放置板（11），且第二噴管（9073）的輸入端與第二軟管（911）的輸出端連通，所述密封罩（2）的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有L形板（9071），所述升降座（9076）的正面通過第一撥桿（9075）與L形板（9071）的一端活動(dòng)連接，所述第一噴管（906）的中部與L形板（9071）的另一端活動(dòng)連接。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人珠海寶豐堂半導(dǎo)體股份有限公司，其通訊地址為：519000 廣東省珠海市金灣區(qū)紅旗鎮(zhèn)東成路118號(hào)2號(hào)廠房一至三層之一；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。