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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京銘鎵半導(dǎo)體有限公司申請的專利一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115728119B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211446917.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N1/32；該發(fā)明授權(quán)一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法是由吳忠亮;呂進(jìn);趙德剛;胡開朋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-11-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法。該方法包括以下步驟：S1，采用手工拋光液對從磷化銦晶棒端面切取的（100）面切割片進(jìn)行手工拋光；S2，將拋光過后的磷化銦切割片與第一腐蝕液接觸后進(jìn)行第一次腐蝕；S3，對第一次腐蝕后的磷化銦切割片清洗后與第二腐蝕液接觸進(jìn)行第二次腐蝕；S4，對第二次腐蝕后的磷化銦切割片清洗和干燥后，用光學(xué)顯微鏡觀察第二次腐蝕后的磷化銦切割片上的位錯腐蝕坑的形狀，即可確定磷化銦切割片及其晶棒的定位面的取向；其中第二腐蝕液中包含氫溴酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為39~41%的氫溴酸溶液。該方法允許拋光表面存在一定數(shù)量的劃痕，且整個過程可在1小時內(nèi)完成，提高了生產(chǎn)效率。

本發(fā)明授權(quán)一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種快速確定磷化銦切割片及其晶棒定位面取向的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟： S1，采用手工拋光液對從磷化銦晶棒端面切取的（100）面切割片進(jìn)行手工拋光，獲得拋光過后的磷化銦切割片； S2，將所述拋光過后的磷化銦切割片與第一腐蝕液接觸后進(jìn)行第一次腐蝕，獲得第一次腐蝕后的磷化銦切割片； S3，對所述第一次腐蝕后的磷化銦切割片清洗后與第二腐蝕液接觸進(jìn)行第二次腐蝕，獲得第二次腐蝕后的磷化銦切割片； S4，對第二次腐蝕后的磷化銦切割片清洗和干燥后，在光學(xué)顯微鏡下觀察第二次腐蝕后的磷化銦切割片上的位錯腐蝕坑的形狀，即可確定磷化銦切割片及其晶棒的定位面的取向； 其中所述第二腐蝕液由氫溴酸溶液和水組成，所述氫溴酸溶液與水的體積比為3.5:1，氫溴酸溶液中氫溴酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40%； 所述第一腐蝕液中包括酸溶液、雙氧水溶液和水；所述酸溶液由硫酸溶液和檸檬酸溶液組成，所述硫酸溶液和檸檬酸溶液的體積比為6:1；所述硫酸溶液中硫酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為98%；所述檸檬酸溶液中檸檬酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為45%；所述第一腐蝕液中，酸溶液、雙氧水溶液和水的體積比為（0.8~1.2）:（3~6）:（10~15）； 所述位錯腐蝕坑為長方形，所述長方形的長邊平行于（0-1-1）晶面，短邊平行于（0-11）晶面。

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