合肥維信諾科技有限公司;昆山國顯光電有限公司張丁成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥維信諾科技有限公司;昆山國顯光電有限公司申請的專利掩膜板及掩膜裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115637406B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211202377.6,技術領域涉及:C23C14/04;該發明授權掩膜板及掩膜裝置是由張丁成;朱修劍設計研發完成,并于2022-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本掩膜板及掩膜裝置在說明書摘要公布了:本申請實施例提供一種掩膜板及掩膜裝置,掩膜板用于蒸鍍待蒸鍍基板,掩膜板包括本體,包括對位區域和蒸鍍區域,蒸鍍區域用于蒸鍍待蒸鍍基板,對位區域設置有對位標記,對位標記用于令本體和待蒸鍍基板對位;輔助層,設置于本體的對位區域并環繞至少部分對位標記設置。本申請實施例通過在對位區域增加輔助層,能夠較為清晰地觀察到對位標記的位置,有利于準確判斷掩膜板與待蒸鍍基板的對位,有利于提高掩膜板與待蒸鍍基板的對位精度,進而有利于提高蒸鍍良率,提高顯示面板的制備良率。
本發明授權掩膜板及掩膜裝置在權利要求書中公布了:1.一種掩膜板,用于蒸鍍待蒸鍍基板,其特征在于,所述掩膜板包括: 本體,包括對位區域和蒸鍍區域,所述蒸鍍區域用于蒸鍍所述待蒸鍍基板,所述對位區域設置有對位標記,所述對位標記用于令所述本體和所述待蒸鍍基板對位; 輔助層,設置于所述本體的所述對位區域并環繞至少部分所述對位標記設置;所述輔助層和所述本體貼合,所述輔助層用于增加所述對位區域的厚度和結構強度,并使所述對位區域與所述待蒸鍍基板貼合; 其中,所述輔助層的材料包括不透光的鋼材; 所述輔助層的厚度為20μm~50μm; 所述輔助層包括朝向所述對位標記的內邊緣和遠離所述對位標記的外邊緣,所述內邊緣和所述對位標記之間的最小距離為0.1mm~0.3mm。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人合肥維信諾科技有限公司;昆山國顯光電有限公司,其通訊地址為:230000 安徽省合肥市新站區魏武路與新蚌埠路交口西南角;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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