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龍圖騰網獲悉北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)申請的專利扭矩的標定方法及半導體設備物料存儲單元獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115683450B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211182681.9，技術領域涉及：G01L25/00；該發明授權扭矩的標定方法及半導體設備物料存儲單元是由趙東雷;關宏武;王浩楠;林繼柱;劉穎設計研發完成，并于2022-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本扭矩的標定方法及半導體設備物料存儲單元在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體領域，涉及一種扭矩的標定方法及半導體設備物料存儲單元。扭矩的標定方法包括：計算翻轉組件的最大扭矩：TN＝P·L，其中，P為翻轉組件的重力，L為P作用在翻轉組件的重心處距從動輪的回轉中心的最大力臂長度，并記為標定位置；確定工作扭矩：T，其中，T≥n·TN，n為大于1的安全系數；標定翻轉組件的扭矩：逐步鎖緊從動輪，當翻轉組件處于標定位置且從動輪不脫離時，記錄施加的壓力值：F＝Fi，翻轉組件的扭矩Ti＝Fb+P·L，其中，i為標定次數，Fb為作用在翻轉組件的重心處，在重力方向的力。解決現有的垂向開合裝置沒有防夾功能或基于傳感器的防夾功能，容易損傷精密機械和物料且存在誤檢的問題。

本發明授權扭矩的標定方法及半導體設備物料存儲單元在權利要求書中公布了：1.一種扭矩的標定方法，其特征在于，用于標定開合裝置的扭矩， 所述開合裝置包括主動輪、從動輪、從動軸、翻轉組件以及鎖緊機構， 所述主動輪能夠帶動所述從動輪旋轉，所述從動軸貫穿所述從動輪，并連接所述翻轉組件，所述從動軸能夠驅動所述翻轉組件運動，以打開或關閉外部機構的開口，所述鎖緊機構能夠對所述從動輪施加軸向的壓力，以鎖緊所述從動輪， 所述扭矩的標定方法包括： 計算所述翻轉組件的最大扭矩：TN＝P·L，其中，P為所述翻轉組件的重力，L為P作用在所述翻轉組件的重心處距所述從動輪的回轉中心的最大力臂長度，并記為標定位置； 確定工作扭矩：T，其中，T≥n·TN，n為大于1的安全系數； 標定所述翻轉組件的扭矩：逐步鎖緊所述從動輪，當翻轉組件處于標定位置且所述從動輪不脫離時，記錄施加的壓力值：F＝Fi， 所述翻轉組件的扭矩Ti＝Fb+P·L，其中，i為標定次數，Fb為作用在所述翻轉組件的重心處，且在重力方向的力。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區泰河三街1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。