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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社斯庫林集團(tuán)申請的專利襯底處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115841965B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211150585.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置是由高橋朋宏;內(nèi)田博章;岸田拓也;杉岡真治設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本襯底處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種襯底處理裝置。在作為第1循環(huán)配管35的一部分的濃縮用配管39，設(shè)有具有石英管47的石英加熱器41。第1迂回配管36的兩端36A、36B連接在濃縮用配管39的上游端及下游端。在第1迂回配管36，設(shè)有具有非石英管51的非石英加熱器45。控制部93在將第1槽T1內(nèi)的磷酸溶液濃縮時，一邊將磷酸溶液輸送到濃縮用配管39，一邊使用石英加熱器41將通過濃縮用配管39的磷酸溶液加熱。控制部93在第1槽T1內(nèi)的磷酸溶液的濃縮完成時，一邊將磷酸溶液輸送到第1迂回配管36，一邊使用非石英加熱器45將通過第1迂回配管36的磷酸溶液加熱。

本發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，其特征在于具備： 處理部，具有貯存磷酸溶液以浸漬襯底的處理槽； 槽，貯存所述磷酸溶液； 供給流路，用來將所述槽內(nèi)的所述磷酸溶液輸送到所述處理部； 循環(huán)流路，兩端連接在所述槽，用來使從所述槽內(nèi)流入的所述磷酸溶液返回到所述槽； 泵，設(shè)置在所述循環(huán)流路； 石英加熱器，設(shè)置在作為所述循環(huán)流路的一部分的濃縮用流路，具有由石英形成且用來供所述磷酸溶液通過的石英管； 迂回流路，兩端連接在所述濃縮用流路的上游端及下游端； 非石英加熱器，設(shè)置在所述迂回流路，具有并非由石英形成且用來供所述磷酸溶液通過的非石英管；以及 控制部；且 所述控制部在將所述槽內(nèi)的所述磷酸溶液濃縮時，一邊對所述濃縮用流路輸送所述磷酸溶液，一邊使用所述石英加熱器將通過所述濃縮用流路的所述磷酸溶液加熱； 所述控制部在所述槽內(nèi)的所述磷酸溶液的濃縮完成時，一邊將所述磷酸溶液輸送到所述迂回流路，一邊使用所述非石英加熱器將通過所述迂回流路的所述磷酸溶液加熱，由此維持所述槽內(nèi)的所述磷酸溶液的溫度。

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