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龍圖騰網獲悉上海中欣晶圓半導體科技有限公司申請的專利一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115472541B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210885068.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法是由莊云娟;洪漪設計研發完成，并于2022-07-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及機械技術領域。一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法，包括如下步驟：步驟一，將6寸片盒擺放至中轉清洗花籃內；中轉清洗花籃包括前后設置的前側板以及后側板，前側板以及后側板之間通過連接桿相連；前側板以及后側板的內壁上開設有用于縱向插入片盒的插槽；前側板的頂部的左右兩端以及后側板的頂部的左右兩端均可拆卸連接有機械手抓取桿；步驟二，擺放至8寸清洗設備的藥液槽內；步驟三，使用純水清洗360S；步驟四，取出放入甩干機；步驟五，從甩干機中取出；步驟六，將6寸片盒從中轉清洗花籃中取出。本發明通過優化CVD前洗凈過程的優化，避免了因人為倒片產生的不良。

本發明授權一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法在權利要求書中公布了：1.一種改善CVD顆粒不良以及污染不良的方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟一，將6寸片盒擺放至中轉清洗花籃內； 所述中轉清洗花籃包括前后設置的前側板以及后側板，所述前側板以及所述后側板之間通過連接桿相連； 所述前側板以及所述后側板的內壁上開設有用于縱向插入6寸片盒的插槽； 所述前側板的頂部的左右兩端以及所述后側板的頂部的左右兩端均可拆卸連接有機械手抓取桿； 所述前側板以及所述后側板前后鏡像對稱設置； 所述前側板的左右兩側設有向后凸出的突起； 所述突起設有向后突出的臺階，所述臺階與所述連接桿相連；以左右兩側的臺階的內側用于接觸片盒的左右兩側； 突起用于提供片盒前后兩側的加強筋讓位； 所述機械手抓取桿包括橫向設置的橫桿部以及豎直設置的豎桿部，所述豎桿部的頂部與所述橫桿部的頂部固定連接； 所述橫桿部通過豎桿部分為相鄰設置的安裝部以及夾持部； 所述前側板以及所述后側板的頂部緊貼機械手抓取桿的所述安裝部，并通過螺釘相連； 所述前側板以及所述后側板的內側緊貼機械手抓取桿的所述豎桿部，并通過螺釘相連； 步驟二，機械手抓取中轉清洗花籃的機械手抓取桿將中轉清洗花籃定位擺放至8寸清洗設備的藥液槽內，藥液槽內的清洗液包括雙氧水以及氨水，清洗時間為360S； 步驟三，機械手抓取中轉清洗花籃的機械手抓取桿將中轉清洗花籃定位擺放至8寸清洗設備的清洗槽內，使用純水清洗360S； 步驟四，機械手抓取中轉清洗花籃的機械手抓取桿將中轉清洗花籃從8寸清洗設備中取出放入甩干機，以700RPM的轉速進行甩干，甩干時間為300S； 步驟五，機械手抓取中轉清洗花籃的機械手抓取桿將中轉清洗花籃從甩干機中取出； 步驟六，將6寸片盒從中轉清洗花籃中取出； 步驟六之后，進行CVD工序。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海中欣晶圓半導體科技有限公司，其通訊地址為：200444 上海市寶山區山連路181號1幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。