上海微電子裝備(集團)股份有限公司郭銀章獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利投影光刻物鏡及光刻機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115542675B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110739484.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權投影光刻物鏡及光刻機是由郭銀章設計研發完成，并于2021-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本投影光刻物鏡及光刻機在說明書摘要公布了：本發明提供一種投影光刻物鏡及光刻機。其中，投影光刻物鏡的第一鏡組中的第一負透鏡和第一正透鏡形成了密接雙分離式透鏡組，以實現場曲像散矯正。第五鏡組中第三正透鏡、第二負透鏡和第四正透鏡形成了密接三分離形式透鏡組，以實現色差矯正。第二鏡組、第三鏡組、第四鏡組和第五鏡組中均包括至少一個非球面。因非球面相比于球面增加了優化的自由度，則一片非球面原理上可以代替2?3片球面鏡片效果，故在調整像差上，可以大幅度壓縮鏡頭尺寸、減少鏡片數量和降低結構的復雜度，同時還可以增大視場，提高透過率。因此，本發明能在增大視場的前提下，提高成像質量，以實現同時提高光刻精度和產量，并且還減少了鏡片的數量，降低成本。
本發明授權投影光刻物鏡及光刻機在權利要求書中公布了：1.一種投影光刻物鏡，其特征在于，包括：沿光路依次設置的第一鏡組、第二鏡組、第三鏡組、第四鏡組、第五鏡組以及第六鏡組； 所述第一鏡組包括沿光路依次設置的第一負透鏡和第一正透鏡，且所述第一負透鏡靠近物面的一側呈非球面； 所述第五鏡組包括沿光路依次設置的第二正透鏡、孔徑光闌、第三正透鏡、第二負透鏡和第四正透鏡； 所述第三鏡組中的透鏡均為正透鏡；所述第二鏡組、所述第四鏡組和所述第六鏡組中的透鏡均為負透鏡； 其中，所述第二鏡組、所述第三鏡組、所述第四鏡組和第五鏡組中均包括至少一個呈非球面的透鏡。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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