株式會社三豐亨德瑞克·凱特拉爾斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社三豐申請的專利用于測量測試表面的高度圖的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112985277B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011459154.9,技術領域涉及:G01B11/06;該發明授權用于測量測試表面的高度圖的方法是由亨德瑞克·凱特拉爾斯;A·祖德偉格;L·雷德拉斯基;J·奎達克爾斯設計研發完成,并于2020-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于測量測試表面的高度圖的方法在說明書摘要公布了:公開了一種用于測量測試表面的高度圖的方法,該方法使用包括預掃描傳感器和高度測量傳感器的多傳感器設備來進行測量,所述測試表面具有變化的反射率。多傳感器設備還包括被配置為對測試表面進行照明的一個或多個光源以及空間光調制器。空間光調制器被放置在一個或多個光源與多傳感器設備的測量位置之間的光路中,并且被配置為調制從光源中至少之一發出的光。該方法包括進行用于確定測試表面的照明強度圖的測量以及用于形成測試表面的高度圖的測量。
本發明授權用于測量測試表面的高度圖的方法在權利要求書中公布了:1.一種用于測量測試表面的高度圖的方法,所述方法使用包括預掃描傳感器和高度測量傳感器的多傳感器設備來進行測量,所述測試表面具有變化的反射率, 其中,所述多傳感器設備還包括被配置為對所述測試表面進行照明的一個或多個光源以及空間光調制器,其中,所述空間光調制器被放置在所述一個或多個光源與所述多傳感器設備的測量位置之間的光路中,以及其中,所述空間光調制器被配置為調制從所述光源中至少之一發出的光, 其中,所述方法包括: -將所述測試表面放置在所述多傳感器設備的所述測量位置中; -使用所述光源中的一個或多個來對所述測試表面進行照明; -使用所述預掃描傳感器來測量在所述預掃描傳感器的視場中從所述測試表面反射的光量; -基于所述預掃描傳感器對所反射的光量的測量來確定所述預掃描傳感器的視場中的所述測試表面的反射率; -基于所述預掃描傳感器的視場中的反射率的確定來確定照明強度圖; -使用所述光源中的一個或多個來對所述測試表面進行照明; -基于所述照明強度圖使用所述空間光調制器來調制所述光源中的一個或多個所發出的光以在所述測試表面上產生光的調制圖案;以及 -通過所述高度測量傳感器來測量所述測試表面的高度圖, 其中,所述預掃描傳感器相比于所述高度測量傳感器具有更大的視場,以及其中,所述方法還包括: -將所述照明強度圖細分為子場,所述子場各自與所述高度測量傳感器的視場相對應; -使用所述光源中的一個或多個來對所述測試表面的子場進行照明; -基于所述照明強度圖使用所述空間光調制器來調制所述光源中的一個或多個所發出的光以在所述測試表面的照明的子場上產生光的調制圖案; -通過所述高度測量傳感器來測量所述照明的子場的高度圖; -針對所述測試表面的各子場重復以上三個步驟,因此獲得所述測試表面的各子場的高度圖;以及 -對所述子場的高度圖進行拼接,以形成所述測試表面的高度圖。
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