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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利光刻裝置及其中的基底傳輸方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114609870B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202011413536.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)光刻裝置及其中的基底傳輸方法是由吳福龍;阮冬設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-12-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本光刻裝置及其中的基底傳輸方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種光刻裝置及其中的基底傳輸方法，所述光刻裝置包括工件臺以及基底傳送裝置，所述基底傳送裝置用于傳送基底，所述基底傳送裝置包括基底傳送板叉，所述基底傳送板叉包括板叉臂、吸附組件以及驅(qū)動組件。所述板叉臂上設(shè)置有至少兩個吸附組件，通過這種在所述板叉臂上設(shè)置多個吸附組件的結(jié)構(gòu)，可在不增加板叉臂長度的基礎(chǔ)上實現(xiàn)傳送多塊基底的功能，有效提高了光刻裝置的產(chǎn)率。

本發(fā)明授權(quán)光刻裝置及其中的基底傳輸方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光刻裝置，其特征在于，包括工件臺以及基底傳送裝置，所述基底傳送裝置用于傳送基底，所述基底傳送裝置包括基底傳送板叉； 所述基底傳送板叉包括板叉臂、吸附組件以及驅(qū)動組件； 所述驅(qū)動組件設(shè)置于所述板叉臂上，所述吸附組件設(shè)置于所述驅(qū)動組件上，所述吸附組件用于吸附或釋放所述基底，所述驅(qū)動組件用于驅(qū)動所述吸附組件與所述基底的下表面接觸以使所述吸附組件位于吸附工位或避讓工位，當(dāng)所述吸附組件位于所述吸附工位時，所述吸附組件吸附所述基底，當(dāng)所述吸附組件位于所述避讓工位時，所述吸附組件釋放所述基底； 所述吸附組件的數(shù)量為至少兩個，至少兩個所述吸附組件間隔設(shè)置在所述板叉臂上，每個所述吸附組件或至少兩個吸附組件配合以吸附或釋放一個所述基底； 每個驅(qū)動組件用于分別驅(qū)動一個對應(yīng)的所述吸附組件。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。