江蘇雷博科學儀器有限公司汪竹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇雷博科學儀器有限公司申請的專利導軌式去膠機獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112435947B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011298875.6,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權導軌式去膠機是由汪竹;陳酉冰;魏益波;錢燕娟設計研發完成,并于2020-11-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本導軌式去膠機在說明書摘要公布了:本發明一種導軌式去膠機,包含有安裝于機臺(101)一側的片盒單元(102)和去膠單元(103),兩個片盒單元(102)分別位于去膠單元(103)的兩側,機臺(101)另一側的滑軌(104)上滑動設置有滑動模組(105),滑動模組(105)上安裝吸附機構(106);所述片盒單元(102)包含有安裝于升降模組(2.2)上的升降臺板(2.1),所述升降臺板(2.1)上堆疊有盒體(2.3)。本發明一種導軌式去膠機,結構緊湊、設計合理且體積小巧。
本發明授權導軌式去膠機在權利要求書中公布了:1.一種導軌式去膠機,其特征在于:包含有安裝于機臺(101)一側的片盒單元(102)和去膠單元(103),兩個片盒單元(102)分別位于去膠單元(103)的兩側,機臺(101)另一側的滑軌(104)上滑動設置有滑動模組(105),滑動模組(105)上安裝吸附機構(106); 所述片盒單元(102)包含有安裝于升降模組(2.2)上的升降臺板(2.1),所述升降臺板(2.1)上堆疊有盒體(2.3);所述去膠單元(103)包含有安裝于機臺(101)上的固定板(3.1),所述固定板(3.1)上安裝有方腔(3.2),所述方腔(3.2)內設置有頂升腔(3.3),所述頂升腔(3.3)內的載物盤上設置有晶圓環(3.4),旋轉主軸(3.5)插入方腔(3.2)內的一端穿過頂升腔(3.3)后驅動載物盤上的晶圓環(3.4)旋轉,腔體頂伸桿(3.6)的頂部穿入方腔(3.2)內的一端與頂升腔(3.3)的頂部外壁相連,晶圓環頂升桿(3.7)的頂部穿入方腔(3.2)內的一端、穿過頂升腔(3.3)后與晶圓環(3.4)的底面相連接;且晶圓環頂升桿(3.7)的底部安裝于頂升座(3.8)上。
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