JSR株式會社山田裕也獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉JSR株式會社申請的專利化學機械研磨用組合物以及化學機械研磨方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114667593B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080078357.5，技術領域涉及：H01L21/304；該發明授權化學機械研磨用組合物以及化學機械研磨方法是由山田裕也;王鵬宇;杉江紀彥;亀井康孝設計研發完成，并于2020-10-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本化學機械研磨用組合物以及化學機械研磨方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種化學機械研磨組合物及化學機械研磨方法，能夠高速且平坦地研磨含有鎢、鈷等導電體金屬的半導體基板、且能夠減少研磨后的表面缺陷。本發明的化學機械研磨用組合物含有：A包含下述通式1表示的官能基的二氧化硅粒子；以及B硅烷化合物。?COO?M+·····1M+表示一價陽離子。
本發明授權化學機械研磨用組合物以及化學機械研磨方法在權利要求書中公布了：1.一種化學機械研磨用組合物，包含： （A）成分：包含下述通式（1）表示的官能基的二氧化硅粒子；以及 （B）成分：硅烷化合物， -COO－M+ （1） M+表示一價陽離子， 將化學機械研磨用組合物的總質量設為100質量%時，所述（A）成分的含量為0.1質量%以上且10質量%以下，所述（B）成分的含量為0.0001質量%以上且0.02質量%以下。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人JSR株式會社，其通訊地址為：日本東京港區東新橋一丁目9番2號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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