AP系統股份有限公司白圣煥獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉AP系統股份有限公司申請的專利芯片轉移方法及設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112599551B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011046014.9,技術領域涉及:H10H29/03;該發明授權芯片轉移方法及設備是由白圣煥;金戊一;金鎬巖;金炯俊設計研發完成,并于2020-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本芯片轉移方法及設備在說明書摘要公布了:本發明提供一種芯片轉移方法及使用所述方法的芯片轉移設備,所述方法包含:在被轉移襯底上制備其上設置有多個芯片的轉移襯底;發射線光束;通過使用設置在線光束的路徑上的掩模從線光束塑形多個圖案光束;通過將圖案光束照射到轉移襯底來將多個芯片與轉移襯底分隔開;以及將與轉移襯底分隔開的多個芯片安放在被轉移襯底上。芯片轉移方法及設備能夠通過使用具有圖案的掩模來將多個芯片轉移到被轉移襯底上的預定位置處。
本發明授權芯片轉移方法及設備在權利要求書中公布了:1.一種芯片轉移方法,包括: 在被轉移襯底上制備轉移襯底,所述轉移襯底上設置有多個芯片; 發射線光束; 通過使用設置在所述線光束的路徑上的掩模,從所述線光束塑形多個圖案光束; 將所述圖案光束照射到所述轉移襯底,并通過拍攝透射穿過所述轉移襯底的所述圖案光束,以產生圖案光束圖像; 通過使用所述圖案光束圖像,以相對于所述轉移襯底對準所述掩模的傾斜度及距離,用于聚焦透射穿過所述掩模以及照射到所述轉移襯底的所述圖案光束; 通過將所述圖案光束照射到所述轉移襯底,以將多個所述芯片與所述轉移襯底分隔開;以及 將與所述轉移襯底分隔開的多個所述芯片安放在所述被轉移襯底上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人AP系統股份有限公司,其通訊地址為:韓國京畿道華城市東灘面東灘產團8便道15-5;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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