ASML荷蘭有限公司P·S·尤貝爾獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利輻射源獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114174909B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080053049.7,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權輻射源是由P·S·尤貝爾;S·T·鮑爾施米特;Y·倪設計研發完成,并于2020-07-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本輻射源在說明書摘要公布了:一種輻射源,包括:中空芯光纖,工作介質;以及脈沖泵浦輻射源。該中空芯光纖包括主體并且具有中空芯。該工作介質被設置在該中空芯內。脈沖泵浦輻射源被布置為產生脈沖泵浦輻射,該脈沖泵浦輻射由中空芯接收并且從輸入端傳播通過中空芯至輸出端。脈沖泵浦輻射、光纖和工作介質的參數被配置為允許脈沖泵浦輻射的孤子自壓縮,以改變脈沖泵浦輻射的光譜,以便形成輸出輻射。在一些實施例中,光纖的長度使得輸出端基本上與脈沖泵浦輻射的時間范圍為最小的位置重合。
本發明授權輻射源在權利要求書中公布了:1.一種輻射源,包括: 中空芯光纖,包括具有中空芯的主體,所述中空芯光纖包括圍繞所述中空芯的包層部分,所述包層部分包括用于引導輻射通過所述中空芯的多個反諧振元件; 工作介質,被設置在所述中空芯內;以及 脈沖泵浦輻射源,被布置為產生脈沖泵浦輻射,所述脈沖泵浦輻射由所述中空芯接收并且從輸入端傳播通過所述中空芯至輸出端; 其中所述脈沖泵浦輻射、所述光纖和所述工作介質的參數被配置為允許所述脈沖泵浦輻射的孤子自壓縮,以改變所述脈沖泵浦輻射的光譜,以便形成輸出輻射,并且進一步地,其中所述光纖的長度使得所述輸出端基本上與所述輸出輻射的時間范圍為最小的位置重合。
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