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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市銓天科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置及封裝方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120237063B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510703938.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置及封裝方法是由黃少娃;黃旭彪;吳桂冠;汪浩;羅技建設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-05-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置及封裝方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置及封裝方法，涉及半導(dǎo)體芯片封裝裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括封裝機(jī)，所述封裝機(jī)的上設(shè)有真空封裝艙體，以及密封設(shè)置在真空封裝艙體上的密封艙門(mén)，且所述封裝機(jī)的側(cè)面安裝有真空泵，所述真空泵的抽氣管貫穿真空封裝艙體的外壁并延伸至真空封裝艙體內(nèi)部，設(shè)置在真空封裝艙體內(nèi)部的多個(gè)層疊的封裝架，所述封裝架內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)有承托架，所述承托架內(nèi)設(shè)有用于對(duì)芯片進(jìn)行擺放的放置模具以及芯片封裝件；通過(guò)設(shè)置真空封裝艙體、真空泵、封裝架和放置模具，利用封裝架與放置模具對(duì)芯片進(jìn)行放置用于焊接工作，真空泵將真空封裝艙體內(nèi)部抽出真空狀態(tài)，創(chuàng)造出一個(gè)低氣壓或無(wú)氣壓的環(huán)境。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置及封裝方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體芯片的多層真空封裝裝置，其特征在于，包括： 封裝機(jī)（1），所述封裝機(jī)（1）的上設(shè)有真空封裝艙體（2），以及密封設(shè)置在真空封裝艙體（2）上的密封艙門(mén)（27）； 且所述封裝機(jī)（1）的側(cè)面安裝有真空泵（3），所述真空泵（3）的抽氣管貫穿真空封裝艙體（2）的外壁并延伸至真空封裝艙體（2）內(nèi)部； 設(shè)置在真空封裝艙體（2）內(nèi)部的多個(gè)層疊的封裝架（4），所述封裝架（4）內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)有承托架（6），所述承托架（6）內(nèi)設(shè)有用于對(duì)芯片進(jìn)行擺放的放置模具（5）以及芯片封裝件，且所述放置模具（5）內(nèi)設(shè)有用于幫助芯片快速取出的推料組件； 所述推料組件包括貼合滑動(dòng)設(shè)置在放置模具（5）內(nèi)的連接板（19），所述連接板（19）的表面正對(duì)放置模具（5）凹槽內(nèi)的位置均安裝有頂桿（20），所述連接板（19）的側(cè)面固定有連接桿（21），所述連接桿（21）滑動(dòng)設(shè)置在放置模具（5）上開(kāi)設(shè)的條形滑道內(nèi)，且所述連接桿（21）端部固定有楔形塊一（22），所述真空封裝艙體（2）內(nèi)安裝有與楔形塊一（22）相配合使用的楔形塊二（23）； 所述封裝架（4）內(nèi)部分別設(shè)有加熱腔體（7）與冷卻腔體； 所述冷卻腔體包括固定在封裝架（4）底部的安裝架（16），所述安裝架（16）內(nèi)部盤(pán)繞設(shè)有散熱管（17），多個(gè)所述散熱管（17）的進(jìn)水管和排水管均貫穿真空封裝艙體（2）外部，并通過(guò)連接水管（24）固定有多通水管（25），且所述封裝機(jī)（1）的外部設(shè)有冷凝器（28），所述冷凝器（28）上設(shè)有抽水泵（26），所述抽水泵（26）的抽水管安裝至冷凝器（28）的出水端，所述抽水泵（26）的進(jìn)水管一側(cè)的多通管與冷凝器（28）的出水端固定連接，另一側(cè)的所述多通管與冷凝器（28）的進(jìn)水端相連接。

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