買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉成都思越智能裝備股份有限公司申請的專利晶圓搬運末端執行器位姿調整機構、搬運系統及搬運方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120237076B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510703352.1，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓搬運末端執行器位姿調整機構、搬運系統及搬運方法是由趙建普;曾賢設計研發完成，并于2025-05-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓搬運末端執行器位姿調整機構、搬運系統及搬運方法在說明書摘要公布了：本發明提供了晶圓搬運末端執行器位姿調整機構、搬運系統及搬運方法，涉及晶圓搬運技術領域，包括：安裝基座組件，包括，第一安裝板、第二安裝板和安裝座；主動調整組件，包括調節板，所述調節板位于所述第一安裝板和第二安裝板之間且其一側與角度傾轉裝置連接，還包括若干組伸縮調整裝置以及若干組彈性支撐裝置，通過所述伸縮調整裝置和所述彈性支撐裝置上下夾持固定所述調節板和放置于調節板上的末端執行器，以實現調節板及末端執行器相對于安裝基座組件的俯仰和橫傾動作，通過以上設置，實現了末端執行器俯仰和橫傾角度的主動調整功能，提高了適用性和結構緊湊性，保證了運行穩定性和調整精確度。

本發明授權晶圓搬運末端執行器位姿調整機構、搬運系統及搬運方法在權利要求書中公布了：1.晶圓搬運末端執行器位姿調整機構，其特征在于，包括： 安裝基座組件，包括，第一安裝板、第二安裝板和安裝座，所述第一安裝板和第二安裝板平行設置于安裝座上下兩側； 主動調整組件，包括用于支撐末端執行器的調節板，所述調節板位于所述第一安裝板和第二安裝板之間且其一側與設置在所述安裝座中的角度傾轉裝置連接，還包括若干組安裝于第一安裝板的伸縮調整裝置以及若干組安裝于第二安裝板的彈性支撐裝置，所述伸縮調整裝置具有上下往復移動的伸縮桿且端部與調節板下表面抵接，所述彈性支撐裝置包括穿設于第二安裝板的導向柱以及套設于導向柱上的壓縮彈簧，通過所述伸縮調整裝置和所述彈性支撐裝置上下夾持固定所述調節板和放置于調節板上的末端執行器，以實現調節板及末端執行器相對于安裝基座組件的俯仰和橫傾動作； 所述角度傾轉裝置包括第一連接件和第二連接件，所述第一連接件為中空環形結構，其內圈上下兩側相對設置有第一平臺，所述第一平臺設置有第一限位部，所述第二連接件為中空環形結構，其外圈上下兩側均設置有第二平臺，所述第二平臺設置有與所述第一限位部適配的第二限位部，所述第二連接件嵌套于所述第一連接件內圈且兩者外圓周所在平面相互垂直設置，所述第一連接件外圈與設置在所述安裝座中的橫傾軸承過盈配合，所述第二連接件內圈設置有俯仰軸承，所述調節板通過連接部與俯仰軸承連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人成都思越智能裝備股份有限公司，其通訊地址為：611731 四川省成都市高新區新航路18號104棟1單元1層1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。