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      長鑫存儲技術有限公司李靜獲國家專利權

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      龍圖騰網獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利光掩模版圖數據的處理方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115755535B 。

      龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211457158.2,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權光掩模版圖數據的處理方法是由李靜設計研發完成,并于2022-11-21向國家知識產權局提交的專利申請。

      光掩模版圖數據的處理方法在說明書摘要公布了:本公開實施例提供一種光掩模版圖數據的處理方法,包括:提供初始框架圖層數據以及芯片圖層數據,芯片圖層數據用于定義芯片圖層,芯片圖層包括具有圖案的芯片目標區,初始框架圖層數據用于定義初始框架圖層,初始框架圖層包括框架目標區以及框架虛設區,框架虛設區包括被框架目標區所環繞的第一區,第一區與芯片目標區正對,且初始框架圖層的圖案位于框架目標區以及框架虛設區,或者僅位于框架目標區;基于初始框架圖層數據得到框架圖層數據,框架圖層數據用于定義框架圖層,框架圖層為僅保留位于框架目標區的圖案的初始框架圖層;基于框架圖層數據以及芯片圖層數據得到版圖圖層數據。本公開實施例至少有利于提高版圖圖層數據的準確性。

      本發明授權光掩模版圖數據的處理方法在權利要求書中公布了:1.一種光掩模版圖數據的處理方法,其特征在于,包括: 提供初始框架圖層數據以及芯片圖層數據,所述芯片圖層數據用于定義芯片圖層,所述芯片圖層包括具有圖案的芯片目標區,所述初始框架圖層數據用于定義初始框架圖層,所述初始框架圖層包括框架目標區以及框架虛設區,所述框架虛設區包括被所述框架目標區所環繞的第一區,所述第一區與所述芯片目標區正對,且所述初始框架圖層的圖案位于所述框架目標區以及所述框架虛設區,或者僅位于所述框架目標區; 基于所述初始框架圖層數據得到框架圖層數據,所述框架圖層數據用于定義框架圖層,所述框架圖層為僅保留位于所述框架目標區的圖案的所述初始框架圖層; 基于所述框架圖層數據以及所述芯片圖層數據得到版圖圖層數據,所述版圖圖層數據用于定義版圖圖層,所述版圖圖層包括版圖目標區,所述版圖目標區與所述框架目標區以及所述芯片目標區正對,且所述版圖目標區具有所述框架目標區的圖案,以及具有所述芯片目標區的圖案。

      如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人長鑫存儲技術有限公司,其通訊地址為:230601 安徽省合肥市經濟技術開發區空港工業園興業大道388號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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