東京毅力科創株式會社田村一獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利載置臺和等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112599398B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011014970.9，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權載置臺和等離子體處理裝置是由田村一設計研發完成，并于2020-09-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺和等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種載置臺和等離子體處理裝置。提供使基板溫度的面內均勻性提高的載置臺。提供一種載置臺，該載置臺具有：載置面，其用于載置基板；電極，其配置在所述載置面的下方，用于施加偏壓電力；供電線，其配置在所述電極的下方，用于施加偏壓電力；以及供電端子，其將所述電極和所述供電線電連接，該供電端子與所述電極連接的面的面積大于與所述供電線連接的面的面積。
本發明授權載置臺和等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種載置臺，其中， 該載置臺具有： 載置面； 電極，其配置在所述載置面的下方，用于施加偏壓電力； 供電線，其配置在所述電極的下方，用于施加偏壓電力；以及 供電端子，其具有上表面和下表面，將所述電極和所述供電線電連接，該供電端子與所述電極連接的所述上表面的面積大于與所述供電線連接的所述下表面的面積， 其中，所述下表面的面積大于或等于與所述下表面連接的所述供電線的上表面的面積。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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