南方科技大學嚴紫君獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南方科技大學申請的專利薄膜生長樣品托獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111707684B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010564360.X,技術領域涉及:G01N23/04;該發明授權薄膜生長樣品托是由嚴紫君;吳鵬陽;張潤楠;王干;邱楊設計研發完成,并于2020-06-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本薄膜生長樣品托在說明書摘要公布了:本申請提供了一種薄膜生長樣品托,包括托盤和安裝于托盤上的壓片,壓片上開設有第一通孔,第一通孔中安裝有載物圓片。第一通孔遠離托盤一端的直徑小于2.8mm,第一通孔靠近托盤一端的直徑大于或者等于3.2mm,載物圓片的直徑范圍為2.8mm?3.2mm。通過在壓片上開設第一通孔,第一通孔可供載物圓片伸入并對其固定。在通過分子束外延技術進行薄膜生長時,載物圓片上可形成直徑約為3mm的薄膜。由于載物圓片的直徑滿足透射電子顯微鏡的樣品桿所需樣品的尺寸要求,可直接將載有薄膜的載物圓片放入透射電子顯微鏡的樣品桿中,方便對薄膜的觀察,可解決厘米級的基底無法直接放入透射電子顯微鏡的樣品桿中而對薄膜進行觀察的問題。
本發明授權薄膜生長樣品托在權利要求書中公布了:1.薄膜生長樣品托,其特征在于,包括: 托盤; 壓片,安裝于所述托盤上,所述壓片上開設有第一通孔; 載物圓片,設于所述第一通孔中,用于承托薄膜的生長,所述載物圓片外周面上開設有多個凹槽; 其中,所述第一通孔遠離所述托盤一端的直徑小于2.8mm,所述第一通孔靠近所述托盤一端的直徑大于或者等于3.2mm,所述載物圓片的直徑范圍為2.8mm-3.2mm; 所述第一通孔的直徑由所述壓片朝所述托盤的方向逐漸增大;所述第一通孔的內周面為第一斜面,所述載物圓片的外周面為與所述第一斜面配合的第二斜面; 或者,所述第一通孔包括第一過孔和與所述第一過孔同軸設置的第二過孔,所述第一過孔與所述第二過孔連通,所述第一過孔的直徑大于所述第二過孔的直徑,所述第一過孔與所述第二過孔之間形成支撐所述載物圓片的第一臺階面; 所述托盤上開設有第二通孔,所述壓片上對應開設有第三通孔,所述第三通孔與所述第一通孔間隔設置,所述第二通孔支撐正常大小的厘米級別的基底,這樣在生長過程中能通過被基底反射到熒光屏上的高能電子束的圖像來觀察薄膜生長情況,所述第三通孔與第二通孔對應設置,便于對基底上的薄膜進行觀察; 所述第二通孔包括第三過孔和與所述第三過孔同軸設置的第四過孔,所述第三過孔與所述第四過孔連通,所述第三過孔的直徑大于所述第四過孔的直徑,所述第三過孔與所述第四過孔之間形成第二臺階面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人南方科技大學,其通訊地址為:518055 廣東省深圳市南山區西麗學苑大道1088號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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