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龍圖騰網(wǎng)獲悉宇弘研科技(蘇州)有限公司申請的專利一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120109068B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510422187.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置是由周修斌;安禮余設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-07向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置，涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，包括：定位座；所述定位座上設(shè)置有通孔，通孔內(nèi)通過螺母安裝有中心螺桿，螺母位于定位座的下方，中心螺桿上活動(dòng)有活動(dòng)套，定位座上設(shè)置有三組通槽，三組通槽內(nèi)均鉸接有鉸接板，活動(dòng)套與定位座之間安裝有三組一號(hào)彈簧，并且三組鉸接板的上端均通過銷軸與活動(dòng)套連接；本發(fā)明中，轉(zhuǎn)動(dòng)盤上弧形陣列的六組弧形凹槽以及與之配合的嵌入塊、安裝塊和吸盤，使得該定位裝置能夠通過調(diào)節(jié)嵌入塊在弧形凹槽中的位置，即實(shí)現(xiàn)對(duì)吸盤的位置進(jìn)行調(diào)整，靈活適應(yīng)不同尺寸和規(guī)格的晶圓，定位座與轉(zhuǎn)動(dòng)盤之間通過輔助板、安裝螺桿和穩(wěn)定輪的設(shè)計(jì)，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)盤在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中的穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種帶有吸附固定結(jié)構(gòu)的晶圓定位裝置，包括：定位座（2）；其特征在于， 所述定位座（2）上設(shè)置有通孔，通孔內(nèi)通過螺母安裝有中心螺桿（21），螺母位于定位座（2）的下方，中心螺桿（21）上活動(dòng)有活動(dòng)套（22），定位座（2）上設(shè)置有三組通槽，三組通槽內(nèi)均鉸接有鉸接板（222），活動(dòng)套（22）與定位座（2）之間安裝有三組一號(hào)彈簧（221），并且三組鉸接板（222）的上端均通過銷軸與活動(dòng)套（22）連接，定位座（2）的外表面鉸接有三組鉸接臂（223），三組鉸接臂（223）均設(shè)置為L型結(jié)構(gòu)，三組鉸接板（222）的下端分別與三組鉸接臂（223）接觸，三組鉸接板（222）的上端鉸接有夾緊頭（23），夾緊頭（23）上設(shè)置有錐形槽（231），并且夾緊頭（23）上安裝有定位板（24），定位板（24）上焊接有螺紋桿，螺紋桿上固定有錐齒輪（241），錐齒輪（241）與錐形槽（231）嚙合，定位板（24）上的螺紋桿上套有二號(hào)彈簧（242），定位板（24）上橫向設(shè)置有第一定位槽（243），定位板（24）上縱向設(shè)置有第二定位槽（244）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人宇弘研科技(蘇州)有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)婁葑北區(qū)創(chuàng)投工業(yè)坊10號(hào)廠房一樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。