買(mǎi)專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社申請(qǐng)的專利有機(jī)膜形成裝置、及有機(jī)膜形成裝置的清潔方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115116887B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210055954.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)有機(jī)膜形成裝置、及有機(jī)膜形成裝置的清潔方法是由黒巖杏太;望月洋輔;今岡裕一;小林憲明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-01-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本有機(jī)膜形成裝置、及有機(jī)膜形成裝置的清潔方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種能夠充分去除處于腔室的內(nèi)部的異物的有機(jī)膜形成裝置、及有機(jī)膜形成裝置的清潔方法。實(shí)施方式的有機(jī)膜形成裝置包括：腔室，具有搬入或搬出工件的開(kāi)口，能夠維持較大氣壓進(jìn)一步經(jīng)減壓的氣體環(huán)境；門(mén)，能夠使所述腔室的開(kāi)口開(kāi)閉；排氣部，能夠?qū)λ銮皇业膬?nèi)部進(jìn)行排氣；支撐部，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠支撐所述工件；加熱部，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠?qū)⑺龉ぜ訜幔灰约爸辽僖粋€(gè)噴嘴，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠向所述腔室的開(kāi)口供給清潔氣體。

本發(fā)明授權(quán)有機(jī)膜形成裝置、及有機(jī)膜形成裝置的清潔方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種有機(jī)膜形成裝置，包括： 腔室，具有搬入或搬出工件的開(kāi)口，能夠維持較大氣壓進(jìn)一步經(jīng)減壓的氣體環(huán)境； 門(mén)，能夠使所述腔室的開(kāi)口開(kāi)閉； 排氣部，能夠?qū)λ銮皇覂?nèi)部進(jìn)行排氣； 支撐部，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠支撐所述工件； 加熱部，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠?qū)⑺龉ぜ訜幔?至少一個(gè)噴嘴，設(shè)置于所述腔室的內(nèi)部，能夠向所述腔室的開(kāi)口供給清潔氣體； 氣體控制部，連接于所述噴嘴，能夠控制所述清潔氣體的供給與供給的停止；以及 控制器，能夠控制所述氣體控制部， 在將所述腔室的開(kāi)口開(kāi)放時(shí)，所述控制器控制所述氣體控制部，而使所述清潔氣體從所述噴嘴向所述腔室的開(kāi)口流動(dòng)。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社，其通訊地址為：日本神奈川縣橫浜市榮區(qū)笠間二丁目5番1號(hào)(郵遞區(qū)號(hào):247-8610)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。