應用材料公司S·德什潘德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利計算機實現的拋光基板和匹配拋光系統間拋光性能的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115697631B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180040203.1，技術領域涉及：B24B49/02；該發明授權計算機實現的拋光基板和匹配拋光系統間拋光性能的方法是由S·德什潘德;S·P·休伊;D·R·威蒂設計研發完成，并于2021-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本計算機實現的拋光基板和匹配拋光系統間拋光性能的方法在說明書摘要公布了：本文中提供了先進的基板拋光方法，其使用機器學習人工智能AI算法或使用AI來產生的軟件應用來控制拋光處理的一個或多個方面。使用從拋光系統獲取的基板處理數據來將AI算法訓練為仿真拋光處理并且對拋光處理作出預測并且處理根據該預測所預期的結果。
本發明授權計算機實現的拋光基板和匹配拋光系統間拋光性能的方法在權利要求書中公布了：1.一種計算機實現的拋光基板的方法，所述方法包括： 使用拋光系統拋光基板，包括： a根據拋光配方使拋光流體流動到拋光墊的表面上，所述拋光配方包括多個拋光參數和相應的多個目標值； b根據所述拋光配方將基板抵住所述拋光墊的所述表面； c通過調整第一控制參數來將所述多個拋光參數中的第一拋光參數維持在所述第一拋光參數的目標值或接近所述第一拋光參數的所述目標值； d產生處理系統數據，所述處理系統數據包括所述拋光配方和所述第一控制參數的時間序列數據；以及 e與a-d同時地使用從原位基板監測系統獲得的測量值來產生時間序列原位結果數據； 對多個基板重復a-e，以獲得相應的多個訓練數據集，所述訓練數據集中的每一者包括針對經拋光的基板的所述處理系統數據和所述原位結果數據； 在人工智能AI訓練平臺處接收包括所述多個訓練數據集的訓練數據，其中所述多個訓練數據集的至少一部分是以時間順序接收的；以及 基于由機器學習AI算法執行的對所接收的訓練數據的分析來改變所述多個拋光參數中的一者或多者。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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