長江存儲科技有限責任公司馮皓獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利晶圓鍵合的控制方法、控制裝置以及鍵合系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113948412B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111089507.5，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權晶圓鍵合的控制方法、控制裝置以及鍵合系統是由馮皓;劉武;趙志遠設計研發完成，并于2021-09-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓鍵合的控制方法、控制裝置以及鍵合系統在說明書摘要公布了：本申請提供了一種晶圓鍵合的控制方法、控制裝置以及鍵合系統，該方法包括：鍵合機臺獲取第一晶圓和第二晶圓的對準偏差，第一晶圓和第二晶圓為待鍵合的兩個晶圓；在對準偏差大于或者等于預定閾值的情況下，鍵合機臺對第一晶圓和或第二晶圓進行調整，以使得調整后的對準偏差小于預定閾值；鍵合機臺對調整后的第一晶圓和第二晶圓進行鍵合。該方法在鍵合工序確定第一晶圓和第二晶圓的對準偏差，保證了對準偏差較為準確，進而保證了根據對準偏差調整后的兩片晶圓基本一致，從而保證了調整后的兩片晶圓的鍵合精度較高。
本發明授權晶圓鍵合的控制方法、控制裝置以及鍵合系統在權利要求書中公布了：1.一種晶圓鍵合的控制方法，其特征在于，包括： 鍵合機臺獲取第一晶圓和第二晶圓的對準偏差，所述第一晶圓和所述第二晶圓為待鍵合的兩個晶圓； 在所述對準偏差大于或者等于預定閾值的情況下，所述鍵合機臺對所述第一晶圓和或所述第二晶圓進行調整，以使得調整后的所述對準偏差小于所述預定閾值； 所述鍵合機臺對調整后的所述第一晶圓和所述第二晶圓進行鍵合； 鍵合機臺獲取第一晶圓和第二晶圓的對準偏差，包括： 所述鍵合機臺獲取第一信息和第二信息，所述第一信息包括所述第一晶圓的第一尺寸信息以及所述第一晶圓的第一標記的位置信息，所述第二信息包括所述第二晶圓的第二尺寸信息以及所述第二晶圓的第二標記的位置信息； 所述鍵合機臺對所述第一信息和所述第二信息進行數據擬合，確定所述對準偏差。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號