南亞科技股份有限公司莊英政獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉南亞科技股份有限公司申請的專利制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114068322B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110900467.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/308；該發(fā)明授權(quán)制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法是由莊英政設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-08-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法在說明書摘要公布了：一種制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法包括：提供襯底及目標(biāo)層設(shè)置于襯底上方，目標(biāo)層具有中央?yún)^(qū)域及周邊區(qū)域；在中央?yún)^(qū)域內(nèi)形成復(fù)數(shù)個線形鰭特征，其中復(fù)數(shù)個線形鰭特征相互平行并分別具有不均勻邊緣部；以及移除線形鰭特征的不均勻邊緣部并得到均勻線形鰭特征，進而提升半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的物理特性、材料特性及品質(zhì)。
本發(fā)明授權(quán)制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括： 提供襯底及目標(biāo)層設(shè)置于該襯底上方，該目標(biāo)層具有中央?yún)^(qū)域及周邊區(qū)域； 在該中央?yún)^(qū)域內(nèi)形成復(fù)數(shù)個線形鰭特征，其中該些線形鰭特征相互平行并分別具有均勻部及不均勻邊緣部；以及 移除該些線形鰭特征的該不均勻邊緣部，保留該些線形鰭特征的該均勻部，其中該均勻部的尺寸不變，并得到均勻線形鰭特征。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人南亞科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新北市泰山區(qū)南林路98號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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