環球晶圓股份有限公司林欽山獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉環球晶圓股份有限公司申請的專利碳化硅材料的制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113990752B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110852661.7，技術領域涉及：H01L21/324；該發明授權碳化硅材料的制備方法是由林欽山設計研發完成，并于2021-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本碳化硅材料的制備方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種碳化硅材料的制備方法，所述方法包括以下步驟。對于晶片或是晶體執行第一退火工藝。所述第一退火工藝的條件包括：使用10℃分至30℃分的升溫速率，于2000℃以下的退火溫度及大于2分鐘且小于4小時的恒溫退火時間執行所述第一退火工藝。在執行所述第一退火工藝之后，所述晶片或所述晶體的平均電阻率大于1010Ω·cm。
本發明授權碳化硅材料的制備方法在權利要求書中公布了：1.一種碳化硅材料的制備方法，其特征在于，包括： 對于晶片或晶體執行第一退火工藝，其中所述第一退火工藝的條件包括： 使用10℃分至30℃分的升溫速率，于1950℃至2000℃的退火溫度及大于2分鐘且小于4小時的恒溫退火時間執行所述第一退火工藝， 其中在執行所述第一退火工藝之后，所述晶片或所述晶體的平均電阻率大于1010Ω·cm。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人環球晶圓股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市科學工業園區工業東二路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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