村田機械株式會社椿達雄獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉村田機械株式會社申請的專利平面度測定單元獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114830319B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180007230.9，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權平面度測定單元是由椿達雄;橫山裕之設計研發完成，并于2021-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本平面度測定單元在說明書摘要公布了：本發明提供一種平面度測定單元，載置于擱板，用于測定與從擱板上的4個規定部位存在于同一平面上的情況偏離的程度相關的平面度，其中，具備：主體框架；以及4個接地部，分散配置在主體框架上，設置成與擱板上的4個規定部位分別接地。4個接地部包括不位于對角位置的兩個第1接地部、以及第1接地部以外的兩個第2接地部。將重心位置設置在平面度測定單元中由通過位于對角位置的第1接地部與第2接地部的兩條對角線所劃分的4個區域中的、包括兩個第1接地部的區域。
本發明授權平面度測定單元在權利要求書中公布了：1.一種平面度測定單元，載置于擱板，用于測定與從上述擱板上的4個規定部位存在于同一平面上的情況偏離的程度相關的平面度，具備： 主體框架；以及 4個接地部，分散配置在上述主體框架上，設置成與上述擱板上的4個上述規定部位分別接地， 4個上述接地部包括不位于對角位置的兩個第1接地部、以及上述第1接地部以外的兩個第2接地部， 將重心位置設置在如下區域：該區域為在上述平面度測定單元中由通過位于對角位置的上述第1接地部與上述第2接地部的兩條對角線所劃分的4個區域中的、包括兩個上述第1接地部的區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人村田機械株式會社，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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