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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種硅片中轉(zhuǎn)裝置和硅片中轉(zhuǎn)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114005774B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111264769.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)一種硅片中轉(zhuǎn)裝置和硅片中轉(zhuǎn)方法是由王強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-10-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種硅片中轉(zhuǎn)裝置和硅片中轉(zhuǎn)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種硅片中轉(zhuǎn)裝置和硅片中轉(zhuǎn)方法。硅片中轉(zhuǎn)裝置包括：水槽組件，用于容納待中轉(zhuǎn)的硅片；傳輸組件；傳感器，傳感器用于檢測(cè)水槽組件是否位于第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域和第四區(qū)域中的任一處；上料組件，對(duì)應(yīng)第一區(qū)域設(shè)置，配置為在傳感器檢測(cè)到水槽組件位于第一區(qū)域時(shí)，向水槽組件內(nèi)移入硅片；機(jī)械手，對(duì)應(yīng)第二區(qū)域設(shè)置，配置為在傳感器檢測(cè)到水槽組件位于第二區(qū)域時(shí)，移出水槽組件中的硅片；排水組件，對(duì)應(yīng)第三區(qū)域設(shè)置，配置為在傳感器檢測(cè)到水槽組件位于第三區(qū)域時(shí)，控制水槽組件排水；清洗組件，對(duì)應(yīng)第四區(qū)域設(shè)置，配置為在傳感器檢測(cè)到水槽組件位于第四區(qū)域時(shí)，清洗水槽組件。本發(fā)明提高了硅片中轉(zhuǎn)的便利性。

本發(fā)明授權(quán)一種硅片中轉(zhuǎn)裝置和硅片中轉(zhuǎn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種硅片中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括： 水槽組件，用于容納待中轉(zhuǎn)的硅片； 傳輸組件，所述傳輸組件由第一區(qū)域依次經(jīng)由第二區(qū)域和第三區(qū)域延伸至第四區(qū)域，所述傳輸組件用于傳輸所述水槽組件沿所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域、所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域的方向運(yùn)動(dòng)； 多個(gè)傳感器，沿所述傳輸組件的延伸方向設(shè)置，所述傳感器用于檢測(cè)所述水槽組件是否位于所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域、所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域中的任一處； 上料組件，對(duì)應(yīng)所述第一區(qū)域設(shè)置，配置為在所述傳感器檢測(cè)到所述水槽組件位于所述第一區(qū)域時(shí)，向所述水槽組件內(nèi)移入硅片； 機(jī)械手，對(duì)應(yīng)所述第二區(qū)域設(shè)置，配置為在所述傳感器檢測(cè)到所述水槽組件位于所述第二區(qū)域時(shí)，移出所述水槽組件中的硅片； 排水組件，對(duì)應(yīng)所述第三區(qū)域設(shè)置，配置為在所述傳感器檢測(cè)到所述水槽組件位于所述第三區(qū)域時(shí)，控制所述水槽組件排水； 清洗組件，對(duì)應(yīng)所述第四區(qū)域設(shè)置，配置為在所述傳感器檢測(cè)到所述水槽組件位于所述第四區(qū)域時(shí)，清洗所述水槽組件； 所述水槽組件包括： 水槽基座，與所述傳輸組件匹配，以在所述傳輸組件的傳輸下移動(dòng)； 水槽本體，設(shè)置于所述水槽基座上，所述水槽本體上設(shè)置有排水口和進(jìn)氣口； 硅片卡夾，活動(dòng)容納于所述水槽本體內(nèi)，所述硅片卡夾用于固定位于所述水槽本體內(nèi)的硅片。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司，其通訊地址為：710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。