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龍圖騰網獲悉蘇州冠韻威電子技術有限公司申請的專利一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120376503B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510856086.6，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器是由劉相營;杜杰;王義書設計研發完成，并于2025-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器在說明書摘要公布了：本發明公開了一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器，包括：校準器本體；校準單元，校準單元包括軸承連接于基座上的連接軸，且連接軸上安裝有擺臂，擺臂的兩端皆通過轉軸轉動連接有連桿，連桿遠離擺臂的一端皆通過轉軸轉動連接有活動臺；兩組活動臺貫穿段上相靠近的一側安裝有第一定位臺，且第一定位臺上安裝有第一定位板；兩組活動臺貫穿段上相遠離的一側安裝有第二定位臺，且第二定位臺上安裝有第二定位板。本發明通過擺臂、連桿與活動臺的轉動連接機構，第一定位板與第二定位板可同步調節間距，避免現有單軸驅動方式的偏移問題，實現不同尺寸晶圓載環的精準對中定位。

本發明授權一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器在權利要求書中公布了：1.一種多尺寸兼容的晶圓檢驗校準器，用于對第一晶圓載環和第二晶圓載環進行定位校準，其特征在于，包括： 校準器本體，所述校準器本體包括基座，所述基座上安裝有圍板； 校準單元，所述校準單元包括軸承連接于所述基座上的連接軸，所述連接軸上安裝有擺臂，所述擺臂的兩端皆通過轉軸轉動連接有連桿，且所述連桿遠離所述擺臂的一端皆通過轉軸轉動連接有活動臺，所述活動臺穿過所述圍板延伸至所述圍板的外表面，所述活動臺穿過圍板的一段形成貫穿段； 兩組所述活動臺的貫穿段上相靠近的一側安裝有第一定位臺，所述第一定位臺上安裝有第一定位板，兩組所述第一定位板用于對第一晶圓載環進行夾持定位； 兩組所述活動臺貫穿段上相遠離的一側安裝有第二定位臺，所述第二定位臺上安裝有第二定位板，兩組所述第二定位板用于對第二晶圓載環進行夾持定位； 所述圍板內部的兩側對稱安裝有固定架，所述固定架上安裝有承載架，所述承載架與活動臺的位置相對應，所述承載架上相靠近的一側安裝有第一承載臺，所述第一承載臺用于對第一晶圓載環進行承載支撐，所述承載架上相遠離的一側安裝有第二承載臺，所述第二承載臺用于對第二晶圓載環進行承載支撐； 所述第一定位板和第二定位板上軸承連接有多組旋轉軸，所述旋轉軸上安裝有導向滾輪，所述旋轉軸的內部設有按壓單元，所述按壓單元與旋轉軸聯動配合，用于對第一晶圓載環和第二晶圓載環進行按壓固定； 所述按壓單元包括開設于所述旋轉軸內部的通口，所述通口內滑動連接有活動軸，所述活動軸上安裝有連接臂，所述連接臂上還安裝有壓桿，所述壓桿遠離所述連接臂的一端安裝有橡膠墊，所述第一定位板和第二定位板下方的兩側皆對稱設置有連板，所述活動軸與相對應的連板固定連接，每兩組所述連板相靠近的一端皆安裝有第一傾斜塊，所述第一傾斜塊上設置有第二傾斜塊。

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