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龍圖騰網獲悉深圳泰德半導體裝備有限公司申請的專利等離子清洗機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112117220B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011037348.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權等離子清洗機是由朱霆;葉賢斌;李文強;楊建新;張凱設計研發完成，并于2020-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本等離子清洗機在說明書摘要公布了：本發明公開一種等離子清洗機，該等離子清洗機包括托料治具循環機構，所述托料治具循環機構包括托料治具、送料模組、回料模組和第一升降裝置。托料治具用于放置待清洗的物料，送料模組包括并行且間隔排布的兩條送料導軌、以及滑動安裝于兩條送料導軌上的送料件。兩條送料導軌的間隔大于托料治具在兩條送料導軌的排布方向上的寬度，送料件呈具有開口的半包圍結構并能夠定位以及帶動托料治具移動。回料模組設于送料模組的兩條送料導軌之間且位于送料件的下方，并能夠帶動托料治具移動。第一升降裝置設于回料模組的下方，升降裝置能夠帶動托料治具在送料模組和回料模組之間循環切換。本發明等離子清洗機可提高清洗效率。

本發明授權等離子清洗機在權利要求書中公布了：1.一種等離子清洗機，其特征在于，包括： 料盒安裝機構，用于安裝存放有物料的料盒； 腔體模組，用于對所述物料進行清洗；以及， 托料治具循環機構，能夠在所述料盒安裝機構和所述腔體模組之間運送所述物料，所述托料治具循環機構包括： 托料治具，用于放置待清洗的物料； 送料模組，包括并行且間隔排布的兩條送料導軌、以及滑動安裝于所述兩條送料導軌上的送料件；所述兩條送料導軌的間隔大于所述托料治具在所述兩條送料導軌的排布方向上的寬度，所述送料件呈具有開口的半包圍結構并能夠定位以及帶動所述托料治具移動； 回料模組，設于所述送料模組的所述兩條送料導軌之間且位于所述送料件的下方，并能夠帶動所述托料治具移動；以及， 第一升降裝置，設于所述回料模組的下方，所述第一升降裝置能夠帶動所述托料治具在所述送料模組和所述回料模組之間循環切換； 所述等離子清洗機還包括推料機構，所述推料機構用于將所述料盒內待清洗的物料推出，以及將清洗完成的物料推回所述料盒，所述推料機構包括： 推料模組，包括推料導軌和推料驅動件； 調整模組，包括調整導軌和調整驅動件，所述調整導軌滑動安裝于所述推料導軌上并與所述推料導軌呈十字交叉設置，所述調整導軌可被所述推料驅動件驅動而滑動；以及， 推料件，滑動安裝于所述調整導軌上，并可被所述調整驅動件驅動而滑動； 所述等離子清洗機還包括導料機構，所述導料機構設于所述料盒安裝機構和所述托料治具循環機構之間，并用于將所述料盒內的物料導至所述托料治具上；所述導料機構包括： 導料安裝座； 調寬驅動件；以及， 導料模組，安裝于所述導料安裝座上并包括沿一直線方向間隔相對的兩個導料組件，每個所述導料組件在面向另一導料組件的表面上設有傳送結構件，兩個所述傳送結構件共同支撐及傳送待傳送的物料； 兩個所述導料組件中至少一者可被所述調寬驅動件驅動并向另一者運動，以調節所述兩個導料組件之間的間距。

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