賽奧科思有限公司;住友化學(xué)株式會(huì)社今野泰一郎獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉賽奧科思有限公司;住友化學(xué)株式會(huì)社申請(qǐng)的專(zhuān)利氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)的制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN112635297B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202011002525.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/02;該發(fā)明授權(quán)氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)的制造方法是由今野泰一郎;木村健司;藤倉(cāng)序章設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-09-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)的制造方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明涉及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)的制造方法。提供能夠?qū)崿F(xiàn)形變小、適于制造紫外LED的AlN模板的技術(shù)。一種氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu),其至少具有:藍(lán)寶石基板、在藍(lán)寶石基板的主面上形成的第一AlN層、以及在第一AlN層上形成的第二AlN層,第二AlN層的a軸方向的形變量ε2的絕對(duì)值小于第一AlN層的a軸方向的形變量ε1的絕對(duì)值。
本發(fā)明授權(quán)氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)、氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件及氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)的制造方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種氮化物半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu),其至少具有: 藍(lán)寶石基板、 在所述藍(lán)寶石基板的主面上形成的第一AlN層、以及 在所述第一AlN層上形成的第二AlN層, 所述第二AlN層的a軸方向的形變量ε2為-0.15%以上且0.1%以下,所述第一AlN層的a軸方向的形變量ε1為-0.6%以上且-0.2%以下。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人賽奧科思有限公司;住友化學(xué)株式會(huì)社,其通訊地址為:日本茨城縣;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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