買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉信越化學(xué)工業(yè)株式會社申請的專利III族化合物基板的制造方法和利用該制造方法制造的基板獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114144864B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080053287.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)III族化合物基板的制造方法和利用該制造方法制造的基板是由久保田芳宏;永田和壽設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-06-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本III族化合物基板的制造方法和利用該制造方法制造的基板在說明書摘要公布了：本發(fā)明的III族化合物基板的制造方法包括以下工序：基底基板形成工序，通過氣相合成法形成III族氮化物的基底基板；種基板形成工序，在基底基板上形成種基板；以及III族化合物晶體形成工序，通過氫化物氣相生長法在種基板上形成III族化合物晶體。本發(fā)明的III族化合物基板的特征在于：其是通過本發(fā)明的III族化合物基板的制造方法制造的。根據(jù)本發(fā)明，在發(fā)揮氫化物氣相生長法的特長、即高成膜速度的特長的同時，以低成本得到更大型且高品質(zhì)的III族化合物基板。

本發(fā)明授權(quán)III族化合物基板的制造方法和利用該制造方法制造的基板在權(quán)利要求書中公布了：1.III族化合物基板的制造方法，該制造方法包括以下工序： 基底基板形成工序，通過氣相合成法形成III族氮化物的基底基板； 種基板形成工序，在上述基底基板上形成種基板；以及 III族化合物晶體形成工序，通過氫化物氣相生長法在上述種基板上形成III族化合物晶體，其中，上述基底基板是下述的基板： 將通過氫化物氣相生長法得到的III族氮化物的粉末成型以制作成型體，利用浸漬法使上述成型體含有III族金屬，之后對上述成型體進行燒結(jié)而得到的基板； 將通過氫化物氣相生長法得到的III族氮化物的粉末成型以制作成型體，利用浸漬法使上述成型體含有還原時成為III族金屬的III族化合物，之后對上述成型體進行氮化和燒結(jié)而得到的基板；或者， 在通過氫化物氣相生長法得到的III族氮化物的粉末中添加混合III族金屬以制作混合物，將上述混合物成型以制作成型體，之后對上述成型體進行氮化和燒結(jié)而得到的基板。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人信越化學(xué)工業(yè)株式會社，其通訊地址為：日本國東京都千代田區(qū)丸之內(nèi)一丁目4番1號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。