弘塑科技股份有限公司黃立佐獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉弘塑科技股份有限公司申請的專利批次式基板浸泡洗邊設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113555295B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010332083.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權批次式基板浸泡洗邊設備是由黃立佐;張修凱;黃富源設計研發完成，并于2020-04-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本批次式基板浸泡洗邊設備在說明書摘要公布了：一種批次式基板浸泡洗邊設備，包括一槽體、一升降機構、一旋轉機構、以及一洗邊構件。所述槽體包括一容槽，用于盛裝溶液及用于容納基板載具及所述基板載具中的基板。所述升降機構，設置在所述槽體上，包括一升降座，所述升降座用于承載所述基板載具；所述旋轉機構設置在所述升降座上，并且包括至少一旋轉軸桿，用于與所述基板接觸并帶動所述基板旋轉，所述旋轉軸桿的表面設有復數個凹槽。所述洗邊構件包括設置在所述凹槽外兩側的刷毛叢及或設置在所述凹槽內表面的粗糙部，所述刷毛叢及或粗糙部用于在所述旋轉軸桿帶動所述基板旋轉時，摩擦所述基板的邊緣。
本發明授權批次式基板浸泡洗邊設備在權利要求書中公布了：1.一種批次式基板浸泡洗邊設備，包括： 一槽體，所述槽體包括一容槽，用于盛裝溶液及容納基板載具及所述基板載具中的基板； 一升降機構，設置在所述槽體上，包括一升降座，所述升降座用于承載所述基板載具； 一旋轉機構，設置在所述升降座上，所述旋轉機構包括至少一旋轉軸桿，用于與所述基板接觸并帶動所述基板旋轉，在所述旋轉軸桿的表面，沿著所述旋轉軸桿的軸向設有復數個向所述旋轉軸桿的中心軸方向內縮的凹槽，所述復數個凹槽用于容納所述基板的邊緣；以及 一洗邊構件，包括設置在所述凹槽外兩側的刷毛叢，所述刷毛叢用于在所述旋轉軸桿帶動所述基板旋轉時，摩擦所述基板的邊緣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人弘塑科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市香山區中華路六段89號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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