東京毅力科創株式會社茂木卓獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基片處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112420552B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010805541.7，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基片處理系統是由茂木卓;熊谷隆;小田島章;吉村啟佑設計研發完成，并于2020-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本基片處理系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種基片處理系統。多個處理腔室并排地配置，并且分別能夠實施基片處理。多個電源系統單元分別配置在多個處理腔室的下部，能夠對各處理腔室單獨地供電。本發明能夠抑制設置面積。
本發明授權基片處理系統在權利要求書中公布了：1.一種基片處理系統，其特征在于： 所述基片處理系統設置在地面，包括： 基片輸送區塊； 支承臺，其包含與所述地面隔開間隔的頂板； 配置在所述頂板上，且沿所述基片輸送區塊的側面與所述基片輸送區塊連接的多個基片處理區塊；和 配置在所述頂板之下，且與所述多個基片處理區塊分別對應的多個電源系統單元，各電源系統單元構成為能夠對對應的基片處理區塊供給電力， 所述頂板包含配置在所述多個基片處理區塊之下的第一部分和從所述第一部分向外側延伸的第二部分， 所述電源系統單元具有電力控制裝置和發電機， 所述電力控制裝置配置在所述頂板的所述第一部分之下， 所述發電機配置在所述頂板的所述第二部分之下， 所述基片處理系統還包括： 導軌，其配置在所述頂板的所述第二部分的上方，沿所述多個基片處理區塊的排列方向延伸；和 懸吊機構，其構成為能夠將所述發電機中的任一者懸吊于所述導軌，沿所述導軌輸送被懸吊的發電機。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號