朗姆研究公司克里斯托夫·塞梅爾羅克獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利晶圓清洗方法及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112740385B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980054280.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶圓清洗方法及設備是由克里斯托夫·塞梅爾羅克;烏爾里奇·塔辛德勒;賴因哈德·澤爾墨;沃爾特·埃斯特爾設計研發完成，并于2019-09-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓清洗方法及設備在說明書摘要公布了：本發明涉及以多液體處理晶圓表面的方法，其包含：將該晶圓的該表面旋轉、以及依序列從分開的出口釋放不同液體流到該旋轉的表面上，其中在該序列中毗連的該等液體流的該釋放在過渡階段期間重迭，且其中在該過渡階段期間，該液體流在離開該等出口之后合并，以在沖擊該旋轉的表面之前形成合并的液體流。本發明亦提供結合固持二或更多液體輸送管的殼架的液體配給裝置，其中該等管的出口朝向彼此而向內彎曲，使得在使用中的輸送自該二或更多液體輸送管的該等出口的該等液體流合并以形成合并的液體流。
本發明授權晶圓清洗方法及設備在權利要求書中公布了：1.一種以多液體處理晶圓表面的方法，其包含：將該晶圓的該表面旋轉；以及依一序列從分開的出口釋放不同液體流到旋轉的該表面上，其中在該序列中毗連的液體流的該釋放在過渡階段期間重迭，且其中在該過渡階段期間，該液體流在離開該出口之后合并，以在沖擊該旋轉的該表面之前形成合并的液體流。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：奧地利菲拉赫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號