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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海信耀電子有限公司申請的專利一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN110577074B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：201910866312.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B65G47/24；該發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)是由趙曉波;王永和;黃微益;錢坤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-09-12向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)，包括：轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)包括：托板和第一氣缸，所述托板具備X軸方向和Y軸方向，所述第一氣缸與所述托板傳動(dòng)連接；第一輸送機(jī)構(gòu)，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括：一第一電機(jī)和若干滾輪軸，若干所述滾輪軸分別與所述第一電機(jī)傳動(dòng)連接，所述托板供若干所述滾輪軸的上表面穿過；第二輸送機(jī)構(gòu)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括：一第二氣缸、一第二電機(jī)和若干輸送組件，所述第二氣缸分別與若干所述輸送組件傳動(dòng)連接，所述托板供若干所述輸送組件的上表面穿過，所述第二電機(jī)分別與若干所述輸送組件傳動(dòng)連接。本發(fā)明能夠保證光刻的對準(zhǔn)精度，提高產(chǎn)品的合格率。

本發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光刻機(jī)導(dǎo)正結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)包括：托板和第一氣缸，所述托板具備X軸方向和Y軸方向，所述第一氣缸與所述托板傳動(dòng)連接，所述第一氣缸用于驅(qū)動(dòng)所述托板上下移動(dòng)； 第一輸送機(jī)構(gòu)，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括：一第一電機(jī)和若干滾輪軸，若干所述滾輪軸分別與所述第一電機(jī)傳動(dòng)連接，所述托板供若干所述滾輪軸的上表面穿過，若干所述滾輪軸用于輸送產(chǎn)品沿X軸方向移動(dòng)； 第二輸送機(jī)構(gòu)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括：一第二氣缸、一第二電機(jī)和若干輸送組件，所述第二氣缸分別與若干所述輸送組件傳動(dòng)連接，所述第二氣缸用于驅(qū)動(dòng)若干所述輸送組件上下移動(dòng)，所述托板供若干所述輸送組件的上表面穿過，所述第二電機(jī)分別與若干所述輸送組件傳動(dòng)連接，所述第二電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)若干所述輸送組件運(yùn)行，若干所述輸送組件用于輸送所述產(chǎn)品沿Y軸方向移動(dòng)； 每一所述輸送組件均包括：一主動(dòng)輪、若干從動(dòng)輪組和一輸送帶，所述第二電機(jī)與所述主動(dòng)輪傳動(dòng)連接，若干所述從動(dòng)輪組、所述主動(dòng)輪均與所述輸送帶傳動(dòng)連接，若干所述輸送帶的上表面均處于同一第二平面上，所述托板分別供若干所述輸送帶的上表面穿過，若干所述輸送帶用于輸送所述產(chǎn)品沿Y軸方向移動(dòng)； 每一所述從動(dòng)輪組均包括：三從動(dòng)輪，一所述從動(dòng)輪的上表面高于另外兩所述從動(dòng)輪的上表面，三所述從動(dòng)輪均與所述輸送帶傳動(dòng)連接； 每一所述輸送組件還包括： 一輸送帶安裝板，所述第二氣缸與所述輸送帶安裝板傳動(dòng)連接，所述第二氣缸用于驅(qū)動(dòng)所述輸送組件上下移動(dòng)； 若干安裝架，若干所述安裝架均設(shè)于所述輸送帶安裝板上，若干所述從動(dòng)輪、所述主動(dòng)輪分別與若干所述安裝架轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海信耀電子有限公司，其通訊地址為：201800 上海市嘉定區(qū)恒諧路50號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。