江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司趙玥獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇芯德半導(dǎo)體科技股份有限公司申請的專利一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120341190B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510840130.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L23/31;該發(fā)明授權(quán)一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法是由趙玥;徐倩倩;謝雨龍;張中設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-06-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法,封裝結(jié)構(gòu)包括中介層、電磁凸塊、塑封體、塑封部和第三功能芯片,塑封體設(shè)有兩個(gè),塑封體旋轉(zhuǎn)90度后垂直設(shè)于中介層正面,且對稱設(shè)置在電磁凸塊的兩側(cè),使第一左側(cè)壁金屬層和第二左側(cè)壁金屬層朝向中介層正面,塑封體中的第一左側(cè)壁金屬層和第二左側(cè)壁金屬層通過中介層實(shí)現(xiàn)與電磁凸塊的電氣連接;塑封部包覆兩個(gè)塑封體和電磁凸塊,第三功能芯片集成在第一右側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層表面。本發(fā)明提供的晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了在有限的空間內(nèi)高密度集成6顆芯片,顯著減小了封裝尺寸,且制備方法簡單。
本發(fā)明授權(quán)一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括: 中介層,具有正面和背面,用于支撐和電氣連接; 電磁凸塊,設(shè)于中介層正面; 塑封體,具有襯底晶圓、設(shè)于襯底晶圓正面的第一功能芯片及設(shè)于襯底晶圓背面的第二功能芯片,所述襯底晶圓內(nèi)設(shè)有多個(gè)硅通孔,所述第一功能芯片和第二功能芯片通過硅通孔連接,所述第一功能芯片具有對外電氣連接的第一左側(cè)壁金屬層和第一右側(cè)壁金屬層,第二功能芯片具有對外電氣連接的第二左側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層;所述塑封體設(shè)有兩個(gè),塑封體旋轉(zhuǎn)90度后垂直設(shè)于中介層正面,且對稱設(shè)置在電磁凸塊的兩側(cè),使第一左側(cè)壁金屬層和第二左側(cè)壁金屬層朝向中介層正面,塑封體中的第一左側(cè)壁金屬層和第二左側(cè)壁金屬層通過中介層實(shí)現(xiàn)與電磁凸塊的電氣連接; 塑封部,形成于中介層正面,包覆兩個(gè)塑封體和電磁凸塊,兩個(gè)塑封體的第一右側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層表面裸露;在第一右側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層表面形成第二再布線金屬層; 第三功能芯片,集成在兩個(gè)塑封體的第一右側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層表面,通過第二再布線金屬層與第一右側(cè)壁金屬層和第二右側(cè)壁金屬層電氣連接,形成晶圓級電感封裝結(jié)構(gòu)。
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