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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利部件更換方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113327833B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110187517.6，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權部件更換方法是由茂山和基;永關一也;松田俊也設計研發完成，并于2021-02-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本部件更換方法在說明書摘要公布了：本發明提供部件更換方法，其能夠縮短伴隨消耗部件的更換的處理裝置的停止期間。第一推算步驟推算處理裝置的消耗部件的更換時期。確定步驟將更換時期之前的期間中的由處理裝置進行的基片的處理最終結束后的時刻確定為消耗部件的可更換時刻。第二推算步驟推算部件運送裝置移動至需要更換消耗部件的處理裝置的位置所需的第一移動時間。第三推算步驟推算直到使已移動至需要更換消耗部件的處理裝置的位置的部件運送裝置成為能夠進行消耗部件的更換的狀態為止的準備所需的第一準備時間。發送步驟在比可更換時刻提早了第一移動時間和第一準備時間的合計時間量的時刻之前的時刻，向部件運送裝置發送更換指示，來對部件運送裝置指示消耗部件的更換。

本發明授權部件更換方法在權利要求書中公布了：1.一種處理系統中的部件更換方法，其特征在于： 所述處理系統具有： 處理基片的多個處理裝置； 多個處理組件，其分別包括多個所述處理裝置； 部件運送裝置，其構成為可移動到所述多個處理組件的各個處理組件中的各個所述處理裝置，來運送設置在所述處理裝置中的消耗部件；以及 控制所述處理裝置和所述部件運送裝置的控制裝置， 在所述部件更換方法中，使所述控制裝置執行以下步驟： 第一推算步驟，推算所述處理裝置的消耗部件的更換時期t1； 確定步驟，將所述更換時期之前的期間中的由所述處理裝置進行的所述基片的處理最終結束后的時刻，確定為所述消耗部件的可更換時刻； 第二推算步驟，推算所述部件運送裝置移動至需要更換所述消耗部件的所述處理裝置的位置所需的第一移動時間； 第三推算步驟，推算進行準備所需的第一準備時間，其中該準備是直到使已移動至需要更換所述消耗部件的所述處理裝置的位置的所述部件運送裝置成為可更換所述消耗部件的狀態為止的準備； 發送步驟，在比所述可更換時刻提早了所述第一移動時間和所述第一準備時間的合計時間的時刻之前的時刻，向所述部件運送裝置發送更換指示，來對所述部件運送裝置指示所述消耗部件的更換。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。