梅姆斯塔有限公司A·歐哈拉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉梅姆斯塔有限公司申請的專利制造微結構的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114945533B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080092268.6，技術領域涉及：B81C1/00；該發明授權制造微結構的方法是由A·歐哈拉設計研發完成，并于2020-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本制造微結構的方法在說明書摘要公布了：提供了一種制造微結構的方法，所述方法包括采用氟化氫HF蒸氣蝕刻二氧化硅SiO2犧牲層，然后去除在HF蒸氣蝕刻所述二氧化硅層時形成的殘留層。所述殘留層可以包含硅、銨鹽或碳，并且公開了用于去除這些層的多種技術。這些技術可以同時應用于或依次應用于所述微結構。因此，與本領域已知的那些技術相比，所描述的方法制造的微結構表現出減少的殘留物水平。
本發明授權制造微結構的方法在權利要求書中公布了：1.一種制造微結構的方法，所述方法包括： -采用氟化氫HF蒸氣蝕刻二氧化硅SiO2犧牲層；以及 -一旦所述HF蒸氣蝕刻完成，隨后去除在HF蒸氣蝕刻所述二氧化硅層時形成的固體殘留層， 其中要去除的固體殘留層包括硅，并且去除所述固體殘留層包括： -使硅與氫氣反應以產生硅烷SiH4；或 -使硅與氟氣反應以產生四氟化硅SiF4；或 -用二氟化氙XeF2蒸氣來蝕刻硅。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人梅姆斯塔有限公司，其通訊地址為：英國洛錫安；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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