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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利用于襯底處理系統的襯底支撐件的加熱器元件的電源隔離電路獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114556542B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080070853.6，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權用于襯底處理系統的襯底支撐件的加熱器元件的電源隔離電路是由文森特·布克哈特;卡爾·弗雷德里克·利瑟設計研發完成，并于2020-10-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于襯底處理系統的襯底支撐件的加熱器元件的電源隔離電路在說明書摘要公布了：一種襯底處理系統包含襯底支撐件和電源電路。所述襯底支撐件被配置成支撐襯底，其中所述襯底支撐件包含一或更多個加熱元件。所述電源電路包含：直流?交流轉換器，其被配置成將第一直流電壓轉換為第一交流電壓，其中所述直流?交流轉換器包含至少一個開關；以及隔離電路，其包含耦合電感器或變壓器中的一者。所述耦合電感器或所述變壓器中的所述一者被配置成將所述第一交流電壓轉換為第二交流電壓，并且將所述一或更多個加熱元件與接地隔離。所述電源電路被配置成基于所述第二交流電壓而提供輸出電壓至所述一或更多個加熱元件。

本發明授權用于襯底處理系統的襯底支撐件的加熱器元件的電源隔離電路在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理系統，其包含： 襯底支撐件，其被配置成支撐襯底，其中所述襯底支撐件包含一或更多個加熱元件；以及 電源電路，其包含： 輸入端， 直流-交流轉換器，其被配置成將從所述輸入端接收的第一直流電壓轉換為第一交流電壓，其中所述直流-交流轉換器包含至少一個開關， 隔離電路，其包含耦合電感器或變壓器中的一者，其中所述耦合電感器或所述變壓器中的所述一者被配置成將所述第一交流電壓轉換為第二交流電壓，并且將所述一或更多個加熱元件與接地隔離， 其中所述電源電路被配置成基于所述第二交流電壓而提供輸出電壓至所述一或更多個加熱元件， 所述耦合電感器或所述變壓器中的所述一者的初級線圈直接連接至所述接地而不連接到參考接地， 所述耦合電感器或所述變壓器中的所述一者的次級線圈連接到所述參考接地而不連接到所述接地， 所述參考接地處于與所述接地不同的電壓電位，以及 所述至少一個開關連接在所述輸入端和所述初級線圈之間并將所述第一交流電壓供應到所述初級線圈。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。