一種石英晶圓退火用組裝式碳化硅舟
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專利號：2021212293827等年費(fèi)滯納金
申請日：
2021-06-02
發(fā)布日期：2025-08-15
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專利摘要
本實用新型公開了一種石英晶圓退火用組裝式碳化硅舟，包括底板和第一連接板，第一連接板，其固定于所述底板一側(cè)外壁；第二連接板，其貼合與所述第一連接板外壁；裝配槽，其開設(shè)于所述第一連接板和第二連接板外壁；第一固定螺栓，其貫穿于所述裝配槽內(nèi)部；連接件，其固定于所述底板另一側(cè)外壁。該石英晶圓退火用組裝式碳化硅舟，設(shè)置的底板相互間可通過第一連接板和第二連接板進(jìn)行間距調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)完畢可通過第一固定螺栓配合連接板外壁的裝配槽進(jìn)行收緊固定，其間距大小可根據(jù)不同尺寸的晶圓進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整，以提高碳化硅舟的適配性，且后續(xù)可通過拆卸第一固定螺栓來對碳化硅舟部件進(jìn)行收納，組裝式結(jié)構(gòu)相比一體式成型成本得到有效降低。
交易流程
01
免費(fèi)咨詢
聯(lián)系客服享一對一免費(fèi)咨詢服務(wù)02
需求匹配
精準(zhǔn)匹配需求，不成功不收費(fèi)03
確定購買
達(dá)成協(xié)議后按照約定支付賬款04
官方備案
按協(xié)議約定辦理官方備案手續(xù)05
交易完成
雙方完成協(xié)議約定即交易完成
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